随着超快激光技术的快速发展，飞秒激光相对于传统激光加工工艺的优势越来越明显。除了常规的激光切割、钻孔应用以外，飞秒激光在玻璃表面涂层去除技术上的应用，也大放异彩，引领行业应用方向。

相比传统纳秒和皮秒加工，飞秒具有更短脉冲、更低热损伤、无内应力、高精度等优点，对玻璃基材几乎无损伤。

根据行业差异，飞秒激光去除玻璃表面涂层的效果要求也有所不同，其中以CIGS太阳能薄膜电池刻蚀和手机玻璃去油墨两方面优势明显。

1.玻璃基板CIGS太阳能薄膜电池刻蚀

CIGS薄膜太阳能电池镀膜后，根据电池板性能和最终封装，需要在指定区域用激光进行刻蚀，从而保证太阳能电池统一完整封装。刻蚀效果对电池的透光率、使用寿命等特性有直接影响。

传统的纳秒激光和皮秒激光，脉冲时间长，热豫弛时间过长，热影响导致去除镀膜时仍然会有一定残留，同时热量对玻璃表面会产生损伤，从而降低了薄膜电池的透光率，并且使用寿命也将降低。

图8 白色为激光刻蚀区域

图9-1 10ps效果，损伤基层镀膜

图9-2 300fs效果，基层无任何损伤

武汉安扬激光技术有限责任公司研发的飞秒工业激光器FemtoYL系列产品，能有效解决上述问题。300fs超窄脉冲宽度，5000kHz超高频率，200μJ高脉冲能量，<1.3光束质量，结合光路整形技术，可达到<10um的聚焦光斑，能使加工产品透光率高达90%以上，极大提高了CIGS太阳能电池转换效率，同时对玻璃基材0损伤，有效提高了产品的合格率和寿命，具有传统激光加工无可比拟的优势。

2.手机玻璃盖板去涂层

玻璃盖板因其高强度、高硬度、对信号无干扰等优势，在手机行业广泛应用。目前手机玻璃盖板的需求已经从单色玻璃发展到了多元化色调玻璃，如华为和苹果系列。通常玻璃前盖采用PVD镀膜工艺，后盖采用丝印工艺，并辅以激光加工去除指定位置的镀膜或油墨。

传统纳秒紫外激光器去除涂层时，边缘锯齿状明显，并且热损伤导致的玻璃强度明显下降，降低盖板的抗冲击性。同时去除存在残留，严重影响了摄像头等功能孔位置的透光性。

图10 应用实例

图11 对基材和边缘无损伤

飞秒工业激光器FemtoYL系列产品，采用超短脉冲激光，结合优秀的光路结构，精确并高效的扫描来去除预设区域的涂层。同时，对玻璃没有任何损伤，无内应力产生，几乎不会降低玻璃强度。

随着超快激光的不断发展和行业需求的不断推进，飞秒激光将会在科研领域，微电子器件，医疗器件，3C电子等更多领域的精密加工应用中，有更广阔的发展空间。