“政府部门到企业授牌，我们非常感动。”1月14日，广东华特气体股份有限公司副董事长石思慧从南海区副区长乔吉飞手上接过奖牌和证书后，高兴地说。

刚踏入2021年，华特气体就收获一份对其坚持创新的嘉奖。2020年，公司凭借“一种氨气的纯化系统”和“一种三氟甲烷纯化装置及纯化方法”两个专利，分别摘得了第七届广东专利奖金奖、第二十一届中国专利优秀奖。

如今，坚持科研创新的华特气体，已经在特种气体生产关键环节形成了自身的核心技术，多个技术领域达到国际先进水平，是名副其实的特种气体领域的“顶尖玩家”。

华特气体通过核心技术攻关，成为特种气体领域的顶尖企业。企业供图

打入半导体顶尖供应链体系

根据华特气体2020年第三季度报告披露，该公司第三季度营业收入比去年同期增加了12.36%。公司总经理傅铸红认为，这与华特气体在特种气体产品的深耕有关。

该公司2020年半年度报告显示，目前，华特气体主营业务分为三个板块，分别是普通工业气体、特种气体，以及与特种气体相关的设备与管路工程，面向全球市场提供气体应用综合解决方案。

2002年，华特气体确定了以特种气体为发展方向，时至今日，华特气体的特种气体主要用于半导体芯片行业，目前已实现对国内8寸以上集成电路制造厂商超过80%的客户覆盖率。企业坚持自主研发，在气体纯化、气体混配、气瓶处理等特种气体生产关键环节形成了自身的核心技术，达到了国际先进水平；在分析检测环节上达到国内先进水平。

据了解，华特气体已在特种气体领域生产出高纯四氟化碳、高纯六氟乙烷、高纯二氧化碳、高纯一氧化氮、高纯八氟环丁烷、高纯三氟甲烷、稀混光刻气等20多个产品并实现了国内同类产品的进口替代。

在特种气体领域专研18年后，如今，华特气体已经成为国内最大的民营特种气体及相关设备供应商，同时产品出口50多个国家和地区，并获得海外大型气体公司的认可，是国内少数实现了产品出口的气体公司。

打开华特气体的客户名单，堪称星光熠熠：不仅涵盖了中芯国际、华虹宏力、长江存储、台积电、京东方等国内一线知名企业，华特还进入了英特尔、美光、德州仪器、海力士等全球领先的半导体企业供应链体系。

傅铸红说，经历前期严格的认证并通过后，一旦进入供应链体系并开始批量供应后，华特气体与客户的合作关系也就趋向稳定，“我们现在的竞争对手基本都是国外企业”。

华特气体已经成为国内最大的民营特种气体及相关设备供应商。企业供图

获全球顶级光刻机企业认证

在华特气体众多特种气体产品中，最亮眼的莫过于光刻混合气。该产品于2017年通过全球最大光刻机供应商阿斯麦产品认证。

光刻是芯片制造最关键的工艺之一，光刻需要由光刻机来完成，而全球最顶级的光刻机公司就是荷兰的阿斯麦。

“光刻机里有一个激光腔，激光腔体内要通入稀有的混合气体，利用稀有气体电离激发出一种特定波长和能量的激光。”傅铸红说，“光刻机再使用激光，去除芯片表面的光刻胶涂层，在芯片表面形成线宽为纳米级的特定的电路图案。”

光刻混合气是非常复杂且高精度的产品，一般一种光刻气中会含有4—5种组分气体。傅铸红解释，在光刻机制造过程中，需要用激光来加工芯片表面，让激光波长和能量长时间保持稳定，如果气体纯度不够或配比不精准，就会导致激光能量时高时低或不持续，“这必然影响光刻效果。”

2017年，华特气体的光刻混合气通过全球最顶级光刻机公司荷兰阿斯麦的认证，在这个认证名单中，全球仅有四家企业，华特气体是中国唯一一家。而从研发光刻混合气，到获得全球顶级光刻机企业的认证，华特气体用了19年。

这个认证对华特气体意义巨大。傅铸红说，通过阿斯麦的认证，意味着阿斯麦强烈建议它的光刻机用户，在使用阿斯麦光刻机时，要配套使用这四家企业的光刻气。华特气体经历一年多时间不断向对方展示生产过程、品控手段、精准检测的技术，“阿斯麦最终相信了我们的专业能力，最终测试通过并获得了认证。”