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半导体/PCB

中芯国际成功获得ASML光刻机?却不是7nm所需的EUV?

星之球科技 来源:网易2020-03-10 我要评论(0 )   

大家都知道,此前有消息传出,作为我国目前最大最先进的晶圆代工厂,中芯国际终于收到了来自ASML的光刻机,而且顺利的进入了深圳

大家都知道,此前有消息传出,作为我国目前最大最先进的晶圆代工厂,中芯国际终于收到了来自ASML的光刻机,而且顺利的进入了深圳厂区,有了ASML的光刻机之后,中芯国际不仅可以实现14纳米芯片的扩大生产,还将开始7纳米的生产。

在人们还没来得及开心,现在又出现了大反转,那就是中芯国际获得光刻机并不是生产7纳米工艺芯片所需的EUV芯片,实际上这台机器应该还是193nm波长的DUV系列光刻机,根据中芯国际发布的消息来看,这台机器是为了用于现有的生产线来进行扩容。

因为目前中芯国际深圳产区所提供的产品还是0.35μm到90nm,有了EUV光刻机的支持后,就可以开始更先进工艺的生产了,而且中芯国际采购EUV光刻机的主要目的也是对先进工艺进行试验和测试的。

对于中芯国际成功获得ASML光刻机的消息,外界确实传疯了,但是为了得到更准确的消息,中芯国际也对媒体做出了证实,这台光刻机只是常规设备,不属于EUV光刻机,而且EUV对于中芯国际,对于芯片行业影响力都是比较大的,如果真正的获得了,中芯国际是会主动通过官方发布消息的。

同时,中芯国际也表示,没有EUV的支持,也不会影响芯片的生产,由于美国的阻扰,本应该在2019年交付的机器到现在还没有交付,与其坐等ASML出手,还没有自己谋求新的道路,现在中芯国际已经采购了美国泛林公司6亿美元设备,还有美国应用材料、日本东京电子公司高达77亿元的设备,这将进一步的提升14纳米工艺芯片的产能。

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