MEMS扫描镜,也称为MEMS微镜,是利用光学MEMS技术,将微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起制造而成的光学MEMS器件。MEMS扫描镜主要应用在激光技术中,功能是实现激光指向偏转、图形化扫描、图像扫描等,主要产品包括电磁驱动类、静电驱动类、电热驱动类、压电驱动类等。
MEMS扫描镜具有体积小、扫描频率高、使用寿命长、功耗低、成本低、可批量生产等优点,可以用于智能手机、平板电脑、可穿戴智能设备、VR/AR、激光投影仪、激光雷达、3D摄像头、3D扫描仪、激光打印机、汽车抬头显示(HUD)、医疗成像设备等产品生产领域,在消费电子、通讯、家电、汽车、仪器仪表、医疗、工业、军工国防等行业中得到广泛应用,市场需求不断增长。
在工业中,随着制造技术不断进步,适用于精密加工的激光加工应用需求不断增长,2020年,我国激光加工设备市场规模达到690亿元左右。在自动驾驶领域,激光雷达是实现自动驾驶的核心技术之一,具有不可或缺性,2020年,我国激光雷达市场规模达到180亿元左右。仅从工业以及自动驾驶领域来看,激光技术应用规模正在不断攀升,利好MEMS扫描镜行业发展。
根据新思界产业研究中心发布的《2021-2025年MEMS扫描镜行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示,在全球市场中,MEMS扫描镜领先生产商主要有德州仪器、意法半导体、博世、滨松、MicroVision、MEMSCAP等。在我国市场中,MEMS扫描镜主要研究机构有中科院上海微系统所等,主要生产企业有微奥科技、知微传感、希景科技等。
MEMS扫描镜可以承受的激光功率从瓦级、十瓦级到百瓦级、千瓦级,越高级别的MEMS扫描镜的设计难度、制造工艺要求越高;为满足不同应用领域需求,提高产品可靠性以及降低生产成本,MEMS扫描镜的镜面尺寸、扫描角度、轴数、驱动方式等技术仍在不断升级。总的来看,在下游产品技术含量不断提高的情况下,MEMS扫描镜行业技术壁垒在不断提升。
新思界行业分析人士表示,我国激光加工、自动驾驶、电子家电等领域激光技术应用需求不断上升,MEMS扫描镜行业未来发展前景良好。与国外企业相比,我国MEMS扫描镜企业在规模、研发、技术等方面存在差距,品牌知名度较低,特别是在高端市场中竞争力弱。经过不断发展,我国MEMS扫描镜行业中的优秀企业生产的产品已经可以应用在自动驾驶等领域,但未来还有较大进步空间。
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