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产品特点
l Ÿ 气浮导轨，超高性能精度 Ÿ 重复定位精度±15nm（Sic版）
l Ÿ 平面式气浮结构，减小系统误差影响 Ÿ 直线度优于1μm
l Ÿ 龙门式双驱结构，承载能力强 Ÿ Z轴纳米级定位抖动
l Ÿ 高速，快速的整定时间 Ÿ 可选激光尺位置反馈
l Ÿ 可定制陶瓷材质气浮导轨 Ÿ 优化线缆管理系统
应用领域
QFHDS系列三轴超精密运动台，XY轴平面式气浮结构，Z轴交叉滚柱结构，用于半导体加工、检测、微纳加工等行业。
结构特点
XY轴运动结构共面，两轴的反馈机构在同一个水平面，相当于单轴运动，不存在因叠层引起的阿贝误差，此结构提升动态跟踪误差，高速响应频率及位置稳定性，开发的气浮轴承补偿方法，提高刚性和负载能力，以满足高动态响应的要求，可实现快速运动和极速位置整定。Z轴交叉滚柱导轨结构，安装到龙门横梁上，亚微米级精度，定位抖动优于20nm。更高要求可接受定制，瑞邦精控提供系统解决方案，对环境要求提供专业建议。
直驱设计
采用无铁芯直线电机驱动，实现了超平稳的运动。步进轴和扫描轴安装位置接近于负载水平面，以提高直线度、平面度和倾角误差等。
其他
使用高质量的电缆，带屏蔽功能，防止电子信号的干扰，优化管线的弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能。根据应用，可安装旋转台，倾角台或晶圆装卸用的夹具等。可安装激光尺或激光干涉仪闭环反馈，提升系统精度性能。
规格指标
型号 | 单位 | QFHDS-300-300-50 | QFHDS-400-400-100 | QFHDS-500-500-200 | ||||||
轴系 | — | X | Y | Z | X | Y | Z | X | Y | Z |
行程 | mm | 300 | 300 | 50 | 400 | 400 | 100 | 500 | 500 | 200 |
补偿后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.25 | ±0.1 | ±0.25 | ±0.15 | ||
标准值 | ±0.2 | ±0.3 | ±0.5 | ±0.3 | ±0.5 | ±0.3 | ||||
双向重复定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.025 | ±0.075 | ±0.05 | ±0.075 | ±0.05 | ||
标准值 | ±0.1 | ±0.05 | ±0.15 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ||||
直线度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.2 | ±0.25 | ±0.5 | ±0.35 | ±0.5 | ±0.75 | ||
标准值 | ±0.5 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ||||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.2 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.75 | ||
标准值 | ±0.5 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ||||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.5 | ±1 | ±1 | ±2 | ±1 | ±3 | ||
标准值 | ±1 | ±5 | ±1.5 | ±5 | ±1.5 | ±7 | ||||
正交性 | Plus (1) | arc sec | 2 | 5 | 2 | 5 | 2 | 5 | ||
标准值 | 5 | 10 | 5 | 10 | 5 | 10 | ||||
电子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（选配） | ||||||||
最大速度 (空载) (4) | m/s | 1 | 0.1 | 1 | 0.2 | 1 | 0.2 | |||
最大加速度 (空载) (4) | m/s² | 5,（10, 20, 30 定制） | 5 | 5,（10, 20, 30 定制） | 5 | 5,（10, 20, 30 定制） | 5 | |||
最大负载 | kg | 20 | 15 | 20 | 15 | 20 | 15 | |||
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。
2. 取决于平台安装表面的平面度。
3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
4. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。