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北京瑞邦精控科技有限公司

单轴气浮运动台、气浮转台、多轴气浮运动台、单轴线轨运动台、AB轴机械转台、多轴...

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QFHDS系列三轴超精密运动台
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产品: 浏览次数:246QFHDS系列三轴超精密运动台 
品牌: 瑞邦精控
单价: 面议
最小起订量:
供货总量:
发货期限: 自买家付款之日起 3 天内发货
有效期至: 长期有效
最后更新: 2024-04-19 10:26
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详细信息

产品特点

 

Ÿ  气浮导轨,超高性能精度                                      Ÿ  重复定位精度±15nm(Sic版)

Ÿ  平面式气浮结构,减小系统误差影响                  Ÿ  直线度优于1μm

Ÿ  龙门式双驱结构,承载能力强                              Ÿ  Z轴纳米级定位抖动

Ÿ  高速,快速的整定时间                                          Ÿ  可选激光尺位置反馈

Ÿ  可定制陶瓷材质气浮导轨                                      Ÿ  优化线缆管理系统

 


应用领域

QFHDS系列三轴超精密运动台,XY轴平面式气浮结构,Z轴交叉滚柱结构,用于半导体加工、检测、微纳加工等行业。

 

结构特点

XY轴运动结构共面,两轴的反馈机构在同一个水平面,相当于单轴运动,不存在因叠层引起的阿贝误差,此结构提升动态跟踪误差,高速响应频率及位置稳定性,开发的气浮轴承补偿方法,提高刚性和负载能力,以满足高动态响应的要求,可实现快速运动和极速位置整定。Z轴交叉滚柱导轨结构,安装到龙门横梁上,亚微米级精度,定位抖动优于20nm。更高要求可接受定制,瑞邦精控提供系统解决方案,对环境要求提供专业建议。

 

直驱设计

采用无铁芯直线电机驱动,实现了超平稳的运动。步进轴和扫描轴安装位置接近于负载水平面,以提高直线度、平面度和倾角误差等。

 

其他

使用高质量的电缆,带屏蔽功能,防止电子信号的干扰,优化管线的弯曲半径,防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能。根据应用,可安装旋转台,倾角台或晶圆装卸用的夹具等。可安装激光尺或激光干涉仪闭环反馈,提升系统精度性能。



规格指标

型号

单位

QFHDS-300-300-50

QFHDS-400-400-100QFHDS-500-500-200

轴系

X

Y

Z

X

Y

Z

X

Y

Z

行程

mm

300

300

50

400

400

100

500

500

200

补偿后定位精度 

Plus (1) 

μm

±0.1

±0.1

±0.25

±0.1

±0.25

±0.15



标准值

±0.2

±0.3

±0.5

±0.3

±0.5

±0.3





双向重复定位精度

Plus (1) 

μm

±0.05

±0.025

±0.075

±0.05

±0.075

±0.05



标准值

±0.1

±0.05

±0.15

±0.1

±0.15

±0.15





直线度 (2)

Plus (1) 

μm

±0.2

±0.25

±0.5

±0.35

±0.5

±0.75



标准值

±0.5

±1

±1

±1

±1

±1.5





平面度 (2)

Plus (1) 

μm

±0.2

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

±0.75



标准值

±0.5

±1

±1

±1

±1

±1.5





Pitch Roll Yaw (2)

Plus (1) 

arc sec

±0.5

±1

±1

±2

±1

±3



标准值

±1

±5

±1.5

±5

±1.5

±7





正交性

Plus (1) 

arc sec

2

5

2

5

2

5



标准值

5

10

5

10

5

10





电子分辨率 (3)

nm

0.3 或 5(选配)









最大速度 (空载) (4)

m/s

1

0.1

1

0.2

1

0.2




最大加速度 (空载) (4)

m/s²

5,(10, 20, 30 定制)

5

5,(10, 20, 30 定制)

5

5,(10, 20, 30 定制)

5




最大负载

kg

20

15

20

15

20

15




注:

以上为单轴精度指标,在洁净间内测试,温度20℃±0.5℃,湿度40%~60%RH,振动等级VC-F,测试点在负载板上25mm处,测试速度10mm/s,Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法,多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关,环境的变化会导致精度变化,如要求非标准测试,请咨询我们。

1. Plus值为高精度指标,是标准值的升级版。

2. 取决于平台安装表面的平面度。

3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

4. 空载条件下指标,最大速度和加速度取决于负载大小。


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