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产品特点
l Ÿ 非接触闭式气浮结构 Ÿ 行程100~1000mm可选
l Ÿ 亚微米级重复定位精度 Ÿ 全行程直线度优于1μm
Ÿ 高柔线缆管理 Ÿ 可定制化设计
应用领域
QFU系列是一款大行程气浮运动台，闭式气浮结构，常规最大行程1米，直线度优于1μm，用于精密加工、测试测量、扫描、半导体及光子学等行业。
结构特点
QFU系列主要采用气浮导轨、直线电机和光栅尺组成，闭式气浮结构，气浮导轨四面均匀受力，相较于开式气浮结构，侧向气浮刚度更大，承载能力更强，模态更高，系统带宽更大，相位裕度和幅值裕度余量更大，对于大体积、大负载及偏心安装等负载形式，更能突显其性能优势。
精度性能
气浮导轨基于气体静压效应，实现无摩擦和无振动地平滑移动，与摩擦式导轨相比，气浮运动台的直线度、平面度可达亚微米，Pitch Yaw指标可达1角秒内，由于非接触式，系统跟随误差有了质地提升，定位精度和重复精度得到了显著提高，行程100~1000mm可选。
线缆管理
使用高质量、高柔性的屏蔽线缆，管线弯曲半径更小，能够防止电子信号的干扰，同时防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮运动台的性能。
定制化
可定制陶瓷材质气浮导轨，1米行程直线度可优于±0.5μm，更大行程也可接受定制。
规格指标
型号 | 单位 | QFU-100 | QFU-200 | QFU-300 | QFU-400 | QFU-500 | |
行程 | mm | 100 | 200 | 300 | 400 | 500 | |
补偿后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ±0.2 | ±0.2 |
标准值 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.3 | ±0.4 | ±0.4 | ||
双向重复定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.075 | ±0.075 | ±0.1 | ±0.1 |
标准值 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ||
直线度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.4 | ±0.4 |
标准值 | ±0.2 | ±0.4 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.2 | ±0.4 | ±0.5 | ±0.5 |
标准值 | ±0.2 | ±0.4 | ±0.75 | ±0.75 | ±0.75 | ||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.25 | ±0.4 | ±0.75 | ±0.8 | ±1 |
标准值 | ±0.5 | ±1 | ±1.5 | ±2 | ±2.5 | ||
电子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（选配） | |||||
最大速度 (空载) (4) | m/s | 1 | |||||
最大加速度 (空载) (4) | m/s² | 5,（10, 20 定制） | |||||
最大负载 | kg | 20 | |||||
供气压力 (5) | MPa | 0.5±0.05 |
型号 | 单位 | QFU-600 | QFU-700 | QFU-800 | QFU-900 | QFU-1000 | |
行程 | mm | 600 | 700 | 800 | 900 | 1000 | |
补偿后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.3 | ±0.3 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 |
标准值 | ±0.5 | ±0.5 | ±1 | ±1 | ±1 | ||
双向重复定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.15 | ±0.15 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 |
标准值 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.3 | ±0.3 | ±0.3 | ||
直线度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.45 | ±0.45 | ±0.45 | ±0.5 | ±0.5 |
标准值 | ±0.75 | ±0.75 | ±0.75 | ±1 | ±1.5 | ||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.5 | ±0.65 | ±0.7 | ±1 | ±1 |
标准值 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ±2 | ±2 | ||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±1 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ±2 |
标准值 | ±3 | ±3 | ±4 | ±4.5 | ±5 | ||
电子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（选配） | |||||
最大速度 (空载) (4) | m/s | 1 | |||||
最大加速度 (空载) (4) | m/s² | 5,（10, 20 定制） | |||||
最大负载 | kg | 20 | |||||
供气压力 (5) | MPa | 0.5±0.05 |
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。
2. 取决于平台安装表面的平面度。
3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
4. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。
5. 为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。
订购信息
型号 | QFU | -300 | -PLUS | -AL | -N | -1 | -0 | -C1 | -3 | -Y | -Y |
描述 | 闭式气浮运动台 | 行程300mm | PLUS高精度版 | 铝合金气浮导轨 | 默认 | 增量式光栅1Vpp反馈 | 零点在行程中心位置 | 高柔排线 | 线缆长度3米 | 有大理石基座 | 有压力保护开关 |