北京瑞邦精控科技有限公司

产品特点

l Ÿ  闭式气浮结构                                                                Ÿ  直驱零齿槽效应

l Ÿ  定位精度±0.5arc sec                                                   Ÿ  同步跳动误差10nm

Ÿ  精准回零误差                                                                Ÿ  高速度稳定性

Ÿ  最大承载100kg                                                              Ÿ  解决气浮抱死问题

应用领域

QFR系列气浮转台轻量化设计、有效降低高度、减小多轴系统集成情况下的阿贝误差；提供高定位精度、高速度稳定性和纳米级同步跳动。产品设计满足晶圆加工及检测、轮廓测量、高精度计量、光学检测和MEMS/纳米技术设备等高端行业。

结构特点

由无齿槽直驱力矩电机、闭式气浮轴承和圆光栅反馈组成，最大限度地提高定位性能。闭式气浮结构设计使工作台面降到最低，减小系统误差影响。具有高轴向刚度和大承载能力。解决气浮抱死的问题，力矩电机固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射，适合在各种速度下平滑转动。

精度性能

瑞邦精控的QFR系列气浮转台同步轴向跳动误差和径向跳动误差10nm，摆角误差3μrad，最大负载100kg，电动控制和手动转动跳动误差一致，使用寿命10年以上。

闭环反馈

使用圆光栅闭环反馈，分辨率优于0.01arc sec，同时采用高性能控制系统，优化气浮结构，气浮转台能精准回零。

定制化

气浮转台可安装滑环，用于空间模拟装置，MEMS和惯性导航等应用。

规格指标

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在转动台面上25mm处，测试速度2-10deg/s，Renishaw激光干涉仪及自带分析方法测量，精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如需非标准测试，请咨询我们。

1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。

2. 轴向和径向跳动为同步跳动误差，测微仪和标准球测量，计算为最大值-最小值-标准球误差-同心度。

3. 电子分辨率取决编码器线数及控制器的细分倍数。

4. 最大转速取决于负载大小，最大定制转速7800 rpm。

5. 为保护气浮轴承建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。

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