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产品特点
l Ÿ 三轴直驱气浮结构 Ÿ 重复定位精度±50nm
l Ÿ 结构紧凑、精度高 Ÿ 全行程直线度±0.1μm
Ÿ 根据需求可定制 Ÿ 高柔线缆管理系统
背景介绍
QFL3D系列是一款结构紧凑的三轴气浮运动台，用于飞秒激光加工，超精密加工，测试测量，扫描、半导体及光子学对准等行业，由于非接触式移动，精度高和结构紧凑是行业内的理想选择。
结构优势
QFL3D系列是一款预负载结构的三轴气浮运动台，气浮结构已证明是精密应用中的理想选择，适用飞秒激光加工、微纳制造等应用，具有体积小，精度高和外观紧凑等特点，无论是定位抖动，还是速度稳定性，QFL3D系列都是良好的解决方案。
定制化
根据用户的应用，可以选择单轴，双轴，三轴等多种结构，如直接在XY轴上增加Z轴，平升Z轴或定制大理石基座、立柱及横梁上侧挂Z轴等。此外可提供激光触发同步输出5V TLL信号。
线缆管理
使用高质量的高柔排线和气管，线管弯曲半径产生的扰动力影响可忽略不计，运动中线缆和气管不影响气浮运动台的性能。
洁净室兼容性
气浮轴承本质上与洁净室环境兼容，高质量的无尘线缆管理也符合实验室环境。
规格指标
型号 | 单位 | QFL3D-50-50-25 | QFL3D-100-100-25 | QFL3D-150-150-25 | ||||||
轴系 | — | X | Y | Z | X | Y | Z | X | Y | Z |
行程 | mm | 50 | 50 | 25 | 100 | 100 | 25 | 150 | 150 | 25 |
补偿后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | |||||
标准值 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | |||||||
双向重复定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 | |||||
标准值 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | |||||||
直线度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.05 | ±0.1 | |||||
标准值 | ±0.25 | ±0.25 | ±0.4 | |||||||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | |||||
标准值 | ±0.35 | ±0.4 | ±0.5 | |||||||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.35 | ±0.4 | ±0.5 | |||||
标准值 | ±1 | ±1 | ±1.5 | |||||||
电子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（选配） | ||||||||
最大速度 (空载) (4) | mm/s | 200 | ||||||||
最大加速度 (空载) (4) | m/s² | 1,（5 定制） | ||||||||
最大负载 | kg | 5 | ||||||||
供气压力 (5) | MPa | 0.5±0.05 |
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。
2. 取决于平台安装表面的平面度。
3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
4. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。
5. 为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。