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产品特点
Ÿ XY轴非接触式气浮结构 Ÿ Z轴平升直驱结构
l Ÿ 结构紧凑、精度高 Ÿ 亚微米级重复定位精度
Ÿ XY直线度±50nm Ÿ Z直线度1μm内
Ÿ 根据需求可定制 Ÿ 高柔线缆管理系统
应用领域
QFL-XY-SG系列是一款结构紧凑的三轴精密运动台，亚微米精度用于飞秒激光加工、测试测量、高精度扫描、半导体及光子学等行业。
结构特点
XY轴为非接触式气浮结构，精度高和外形尺寸小等特点，气浮导轨间没有机械接触，免维护运行。Z轴为平升直驱结构，承载能力大，抗蠕变交叉滚柱导轨垂直导向，提升直线度性能，可选双闭环反馈的方式，获得高重复定位精度和定位精度。
精度性能
XY轴气浮运动台的定位精度±0.1μm，双向重复定位精度±50nm，直线度±0.05μm，平面度±0.1μm，Pitch Yaw ±0.5arc sec，平升Z轴的定位精度±0.1μm，双向重复定位精度±50nm，直线度±0.5μm。
线缆管理
使用高质量的高柔排线和气管，线管弯曲半径产生的扰动力影响可忽略不计，运动中线缆和气管不影响气浮运动台的性能。此外，可定制带屏蔽高柔线缆，适合环境噪声大的场合。
定制化
XY轴可定制陶瓷材质气浮导轨，直线度可达±50nm。
规格指标
型号 | 单位 | QFL-50-50-20SG | QFL-100-100-35SG | ||||
轴系 | — | X | Y | Z | X | Y | Z |
行程 | mm | 50 | 50 | 20 | 100 | 100 | 35 |
补偿后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | |
标准值 | ±0.2 | ±1 | ±0.2 | ±1 | |||
双向重复定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 | ±0.075 | |
标准值 | ±0.1 | ±0.5 | ±0.1 | ±0.25 | |||
直线度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.5 | ±0.05 | ±0.5 | |
标准值 | ±0.25 | ±3 | ±0.25 | ±4 | |||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.1 | — | ±0.1 | — | |
标准值 | ±0.35 | — | ±0.4 | — | |||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.35 | ±2 | ±0.4 | ±2 | |
标准值 | ±1 | ±5 | ±1 | ±5 | |||
电子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（选配） | |||||
最大速度 (空载) (4) | mm/s | 100 | 10 | 100 | 10 | ||
最大负载 | kg | 10 |
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。
2. 取决于平台安装表面的平面度。
3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
4. 空载条件下指标，最大速度取决于负载大小。