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产品特点
l Ÿ 非接触闭式气浮结构 Ÿ 光栅尺闭环反馈
l Ÿ 亚微米级重复定位精度 Ÿ 直线度平面度优于1μm
Ÿ 优化线缆管理 Ÿ 可定制化设计
应用领域
QFU-A系列是一款闭式气浮导轨的双轴气浮运动台，十字叠层结构用于超精密加工、测试测量、高精度扫描、半导体及光子学等行业。
结构特点
双轴气浮运动台采用氧化铝气浮导轨、直线电机和光栅尺组成，十字叠层结构，底轴为三气浮导轨结构，上轴的运动行程尺寸在底轴宽度范围内，防止上轴出现悬空下塌，改善叠层后上轴的精度性能。气浮运动台为非接触式，随着时间地推移，不会出现磨损或性能下降。陶瓷材料弹性模量大、比刚度大，可有效提高系统刚性和带宽，增加控制系统的相位裕度和幅值裕度。
精度性能
双轴气浮运动台的定位精度±0.2μm，重复定位精度±0.1μm，直线度±0.3μm，平面度±0.5μm，Pitch Roll±2arc sec，Yaw±0.8arc sec。
线缆管理
精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮运动台的性能，使用高质量的线缆，以确保无故障操作。
定制化
可定制陶瓷材质气浮导轨，重复定位精度±15nm。行程可接受定制。
规格指标
型号 | 单位 | QFU-A-200-200 | QFU-A-300-300 | QFU-A-400-400 | ||||
轴系 | — | X | Y | X | Y | X | Y | |
行程 | mm | 200 | 200 | 300 | 300 | 400 | 400 | |
补偿后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.15 | ±0.15 | ±0.15 | ±0.15 | ±0.2 | ±0.2 |
标准值 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.3 | ±0.3 | ±0.4 | ±0.4 | ||
双向重复定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.075 | ±0.075 | ±0.075 | ±0.075 | ±0.1 | ±0.1 |
标准值 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ±0.2 | ±0.2 | ||
直线度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ±0.3 | ±0.3 |
标准值 | ±0.4 | ±0.4 | ±0.75 | ±0.75 | ±1 | ±1 | ||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.2 | ±0.2 | ±0.4 | ±0.4 | ±0.5 | ±0.5 |
标准值 | ±0.4 | ±0.4 | ±0.75 | ±0.75 | ±1 | ±1 | ||
Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.4 | ±0.4 | ±0.75 | ±0.75 | ±0.8 | ±0.8 |
标准值 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ±1.5 | ±2 | ±2 | ||
Pitch Roll (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.5 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ±1.5 | ±2 |
标准值 | ±1 | ±2 | ±2 | ±3 | ±3 | ±3.5 | ||
电子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（选配） | ||||||
最大速度 (空载) (4) | m/s | 1 | ||||||
最大加速度 (空载) (4) | m/s² | 5,（10, 20 定制） | ||||||
最大负载 | kg | 20 | ||||||
供气压力 (5) | MPa | 0.5±0.05 |
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。
2. 取决于平台安装表面的平面度。
3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
4. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。
5. 为保护气浮导轨不受压力影响，建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。