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产品特点
l Ÿ 非接触式直驱结构 Ÿ 面式十字叠层结构
Ÿ 抗蠕动交叉滚柱导轨 Ÿ 高动态性能，高精度
Ÿ 百纳米级定位精度 Ÿ 结构可接受定制
应用领域
RBLBAC系列是一款百纳米级精度的双轴精密运动台，具有纳米级微动步距，百纳米级定位精度，高动态性能，结构紧凑，用于晶圆加工及检测、激光微加工、测试测量及光学检测等领域。
结构特点
每轴采用双直线电机驱动，推力大，高动态性能，在低速运行时保持平稳，在高速状态不会产生振动。抗蠕动交叉滚柱直线导轨导向，线线接触，运动平稳，交叉排列，多方向受力稳定。平面式叠层式结构紧凑，降低XY轴高度，提升整体精度性能。
精度性能
双轴精密运动台的定位精度±0.3μm，高重复定位精度±75nm，直线度±0.75μm，是高精度场所的理想选择。
精密控制
配合高性能的控制和驱动器，可提供优异的伺服性能、先进的控制算法，从而提高动态性能，控制器有误差补偿功能。
定制化
定制断电抱闸功能，抱闸后位置相比抱闸前位置漂移误差10nm内；定制用于真空环境下的版本，真空度到10^-7Torr；定制最大加速度；可配置大理石基座、支撑钢架、隔振器等整套运动控制方案。
规格指标
型号 | 单位 | RBLBAC-100XY | RBLBAC-200XY | RBLBAC-300XY | |
行程 | mm | 100 x 100 | 200 x 200 | 300 x 300 | |
补偿后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.15 | ±0.3 |
标准值 | ±0.4 | ±0.5 | ±0.75 | ||
双向重复定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.075 | ±0.075 |
标准值 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ||
直线度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.4 | ±0.5 | ±0.75 |
标准值 | ±1 | ±1.5 | ±2 | ||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.75 | ±1 | ±1.5 |
标准值 | ±1 | ±1.5 | ±2 | ||
Pitch Roll (2) | Plus (1) | arc sec | ±3 | ±4 | ±5 |
标准值 | ±6 | ±7.5 | ±9 | ||
Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±1.5 | ±2 | ±2.5 |
标准值 | ±3 | ±4 | ±5 | ||
电子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（选配） | |||
最大速度 (空载) (4) | mm/s | 300 | |||
最大加速度 (空载) (4) | m/s² | 2,（5, 10 定制） | |||
最大负载 | kg | 20 | 40 | 50 |
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±1℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-E，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。
2. 取决于平台安装表面的平面度。
3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
4. 空载条件下的精度指标，最大速度和加速度取决于负载大小。