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产品特点
Ÿ 叠层式布局 Ÿ 纳米级微动步距
Ÿ 紧凑型中空结构 Ÿ 高动态性能，高精度
Ÿ 双直驱电机驱动 Ÿ 集成式线缆管理
应用领域
RBZK系列是带中空结构的精密运动台，大尺寸通孔、高动态性能满足晶圆检测应用，同时适用于CCD成像、LED封装检测等其它高端制造等行业。
设计特点
RBZK系列双轴中空精密运动台，叠层紧凑的中空外形结构，工作点位置降低，光栅反馈位置接近工作表面，在晶圆检测中至关重要。高精度滚柱导轨和精密研磨的加工表面，专业的装配工艺，获得直线度±1μm，平面度±2.5μm。
光栅反馈
每轴采用双光栅尺闭环反馈，安装位置接近工作表面，能够有效地降低系统误差影响，提升整体精度性能。可选电子分辨率0.3nm或5nm。
双驱结构
每轴用双直线电机驱动，龙门交叉解耦控制算法，保证双电机的运行的一致性，提供大推力、速度1m/s和准确的定位，直线电机的温度控制在室温，比滚珠丝杆传动结构的运动台，性能有了提升。
线缆管理
使用高质量无尘拖链，优化管线弯曲半径，防止动作过程中影响其性能，同时也适用在洁净室内。
规格指标
型号 | 单位 | RBZK-150XY | RBZK-250XY | RBZK-300XY | |||
轴系 | 轴系 | X | Y | X | Y | X | Y |
行程 | mm | 150 x 150 | 250 x 250 | 300 x300 | |||
补偿后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.5 | ±0.5 | ±0.75 | ||
标准值 | ±1 | ±1 | ±1 | ||||
双向重复定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.25 | ±0.25 | ±0.25 | ||
标准值 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ||||
直线度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.7 | ±0.7 | ±1 | ||
标准值 | ±1 | ±1.5 | ±2.5 | ||||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±1.25 | ±1.75 | ±2.5 | ||
标准值 | ±1.25 | ±1.75 | ±2.5 | ||||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±3 | ±5 | ±5 | ||
标准值 | ±4 | ±6 | ±7 | ||||
电子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（选配） | |||||
最大速度 (空载) (4) | m/s | 1 | |||||
最大加速度 (空载) (4) | m/s² | 5,（10, 20 定制） | |||||
最大负载 | kg | 20 | 30 | 50 |
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±1℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-E，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。
2. 取决于平台安装表面的平面度。
3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
4. 空载条件下的精度指标，最大速度和加速度取决于负载大小。