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北京瑞邦精控科技有限公司

单轴气浮运动台、气浮转台、多轴气浮运动台、单轴线轨运动台、AB轴机械转台、多轴...

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QFUZ系列精密气浮Z轴
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产品: 浏览次数:267QFUZ系列精密气浮Z轴 
品牌: 瑞邦精控
单价: 面议
最小起订量:
供货总量:
发货期限: 自买家付款之日起 3 天内发货
有效期至: 长期有效
最后更新: 2024-04-22 11:14
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详细信息

产品特点

 

Ÿ  非接触闭式气浮结构                                              Ÿ  行程50~200mm可选

Ÿ  重复定位精度±75nm                                         Ÿ 全行程直线度0.1μm

Ÿ  优化线缆管理                                                          Ÿ  可定制化设计

 


应用领域

QFUZ系列是一款侧挂在大理石横梁上的精密气浮Z轴,闭式气浮结构,刚度大,用于飞秒激光加工、测试测量、半导体及光子学等行业。

 

结构特点

精密气浮Z轴闭式气浮结构,气浮导轨四面均匀受力,对于一些大体积、大负载在气浮导轨上不均匀分布的应用,更能突出性能优势,行程50~275mm可选。配置无摩擦重力平衡气缸,有效地抵消电机向上持续输出力,提升精度性能,同时断使能后负载不会受重力影响而向下脱落。

 

 

精密性能

气浮导轨实现无摩擦地平滑移动,与摩擦式导轨相比,气浮的非接触式结构,使直线度、平面度、Pitch Yaw、跟随误差、定位精度和重复定位精度得到提高 。

 

线缆管理

使用高质量带屏蔽的线缆,管线弯曲半径更小,能够防止电子信号的干扰,防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮运动台的性能,以确保无故障操作。

 

定制化

可定制陶瓷材质气浮导轨,重复定位精度±15nm;定制最大加速度5m/s²;行程也可接受定制。



规格指标

型号

单位

QFUZ-50

QFUZ-100

QFUZ-150

QFUZ-200


行程

mm

50

100

150

200


补偿后定位精度

Plus (1) 

μm

±0.1

±0.1

±0.15

±0.15

标准值

±0.2

±0.2

±0.2

±0.2



双向重复定位精度 

Plus (1) 

μm

±0.05

±0.05

±0.075

±0.075

标准值

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1



直线度 (2)

Plus (1) 

μm

±0.05

±0.05

±0.1

±0.1

标准值

±0.2

±0.2

±0.4

±0.4



平面度 (2)

Plus (1) 

μm

±0.1

±0.1

±0.2

±0.2

标准值

±0.2

±0.2

±0.4

±0.4



Pitch Roll Yaw (2)

Plus (1) 

arc sec

±0.25

±0.25

±0.4

±0.4

标准值

±0.5

±0.5

±1

±1



电子分辨率 (3) 

nm

0.3 或 5(选配)





最大速度 (空载) (4)

mm/s

50

100

300

300


最大加速度 (空载) (4)

m/s²

1,(5 定制)





最大负载

kg

20





供气压力 (5)

MPa

0.5±0.05





注:

以上为单轴精度指标,在洁净间内测试,温度20℃±0.5℃,湿度40%~60%RH,振动等级VC-F,测试点在负载板上25mm处,测试速度10mm/s,Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法,多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关,环境的变化会导致精度变化,如要求非标准测试,请咨询我们。

1. Plus值为高精度指标,是标准值的升级版。

2. 取决于平台安装表面的平面度。

3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

4. 空载条件下的指标,最大速度和加速度取决于负载大小。

5. 为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的(过滤至0.25μm或更佳,ISO8573-1),无水(压力露点-20℃,ISO8573-1级别3)及无油(ISO8573-1级别1)。


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