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北京瑞邦精控科技有限公司

单轴气浮运动台、气浮转台、多轴气浮运动台、单轴线轨运动台、AB轴机械转台、多轴...

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RBN-200XY-150Z-AB五轴精密运动台
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产品: 浏览次数:298RBN-200XY-150Z-AB五轴精密运动台 
品牌: 瑞邦精控
单价: 面议
最小起订量:
供货总量:
发货期限: 自买家付款之日起 3 天内发货
有效期至: 长期有效
最后更新: 2024-04-22 11:14
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详细信息

产品特点 

l Ÿ  直线轴行程200mm*200mm*150mm (XYZ)

l Ÿ  旋转轴行程±90°*360°(AB轴)

l Ÿ  XYZ交叉滚柱导轨,纳米级定位纹波

l Ÿ  AB轴气浮转台,亚微米跳动误差

l Ÿ  优化线缆管理系统

l Ÿ  结构、行程可定制

 

应用领域

RBN-200XY-150Z-AB五轴精密运动台用于曲面飞秒激光加工。

 

产品简介

XY轴采用防蠕动十字交叉滚柱导轨导向,直线电机驱动及光栅尺闭环反馈,XY轴平面式结构,最大限度降低高度,减小系统误差影响;此外XY轴可定制抱闸功能,抱闸位置漂移可控制在10nm内。

Z轴直驱力矩电机驱动,交叉滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈,获得纳米级定位纹波;

AB轴气浮轴承、力矩电机驱动及光栅尺闭环反馈,闭式气浮结构,对结构进行优化设计,气浮轴承表面和创新的预压高刚度,侧向放置承载能力大,解决气浮抱死的问题。优秀的轴向跳动误差、径向跳动误差和倾角误差,使AB轴正交2~10arc sec,轴向线重合度2~10μm。

大理石机体因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好,应用于运动台上质量可靠,品质有保障。大理石做模态分析,优化结构尺寸,可依据客户的要求做最终设计。


规格指标

轴系

测试项目

单位

指标要求

实测指标

X 轴

行程

mm

200

200

补偿后定位精度

μm

±0.5

±0.07


双向重复定位精度

μm

±0.15

±0.05


直线度

μm

±1.5

±1.1


平面度

μm

±2

±0.45


工作速度

mm/s

100

100


Y 轴

行程

mm

200

200

补偿后定位精度

μm

±0.75

±0.15


双向重复定位精度

μm

±0.25

±0.04


直线度

μm

±1.5

±1.2


平面度

μm

±4

±0.9


工作速度

mm/s

100

100


A 轴

行程

°

±90

±90

补偿后定位精度

arc sec

±2

±0.4


双向重复定位精度

arc sec

±1

±0.15


轴向跳动误差

μm

0.5

0.2


径向跳动误差

μm

0.5

0.3


工作速度

°/s

40

40


B 轴

行程

°

360

360

补偿后定位精度

arc sec

±2

±0.4


双向重复定位精度

arc sec

±1

±0.2


轴向跳动误差

μm

0.5

0.1


径向跳动误差

μm

0.5

0.3


工作速度

°/s

40

40


Z 轴

行程

mm

150

150

补偿后定位精度

μm

±0.5

±0.4


双向重复定位精度

μm

±0.1

±0.06


直线度

μm

±1

±0.05


平面度

μm

±1

±0.35


工作速度

mm/s

50

50


XYAB

负载

kg

1

1

Z

负载

kg

20

20

 


询价单