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产品特点
l Ÿ 直线轴行程200mm*200mm*150mm (XYZ)
l Ÿ 旋转轴行程±90°*360°（AB轴）
l Ÿ XYZ交叉滚柱导轨，纳米级定位纹波
l Ÿ AB轴气浮转台，亚微米跳动误差
l Ÿ 优化线缆管理系统
l Ÿ 结构、行程可定制
应用领域
RBN-200XY-150Z-AB五轴精密运动台用于曲面飞秒激光加工。
产品简介
XY轴采用防蠕动十字交叉滚柱导轨导向，直线电机驱动及光栅尺闭环反馈，XY轴平面式结构，最大限度降低高度，减小系统误差影响；此外XY轴可定制抱闸功能，抱闸位置漂移可控制在10nm内。
Z轴直驱力矩电机驱动，交叉滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈，获得纳米级定位纹波；
AB轴气浮轴承、力矩电机驱动及光栅尺闭环反馈，闭式气浮结构，对结构进行优化设计，气浮轴承表面和创新的预压高刚度，侧向放置承载能力大，解决气浮抱死的问题。优秀的轴向跳动误差、径向跳动误差和倾角误差，使AB轴正交2~10arc sec，轴向线重合度2~10μm。
大理石机体因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好，应用于运动台上质量可靠，品质有保障。大理石做模态分析，优化结构尺寸，可依据客户的要求做最终设计。
规格指标
轴系 | 测试项目 | 单位 | 指标要求 | 实测指标 |
X 轴 | 行程 | mm | 200 | 200 |
补偿后定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.07 | |
双向重复定位精度 | μm | ±0.15 | ±0.05 | |
直线度 | μm | ±1.5 | ±1.1 | |
平面度 | μm | ±2 | ±0.45 | |
工作速度 | mm/s | 100 | 100 | |
Y 轴 | 行程 | mm | 200 | 200 |
补偿后定位精度 | μm | ±0.75 | ±0.15 | |
双向重复定位精度 | μm | ±0.25 | ±0.04 | |
直线度 | μm | ±1.5 | ±1.2 | |
平面度 | μm | ±4 | ±0.9 | |
工作速度 | mm/s | 100 | 100 | |
A 轴 | 行程 | ° | ±90 | ±90 |
补偿后定位精度 | arc sec | ±2 | ±0.4 | |
双向重复定位精度 | arc sec | ±1 | ±0.15 | |
轴向跳动误差 | μm | 0.5 | 0.2 | |
径向跳动误差 | μm | 0.5 | 0.3 | |
工作速度 | °/s | 40 | 40 | |
B 轴 | 行程 | ° | 360 | 360 |
补偿后定位精度 | arc sec | ±2 | ±0.4 | |
双向重复定位精度 | arc sec | ±1 | ±0.2 | |
轴向跳动误差 | μm | 0.5 | 0.1 | |
径向跳动误差 | μm | 0.5 | 0.3 | |
工作速度 | °/s | 40 | 40 | |
Z 轴 | 行程 | mm | 150 | 150 |
补偿后定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.4 | |
双向重复定位精度 | μm | ±0.1 | ±0.06 | |
直线度 | μm | ±1 | ±0.05 | |
平面度 | μm | ±1 | ±0.35 | |
工作速度 | mm/s | 50 | 50 | |
XYAB | 负载 | kg | 1 | 1 |
Z | 负载 | kg | 20 | 20 |