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QFL-FH系列气浮运动台
产品特点lŸ非接触开式气浮结构Ÿ行程25~150mm可选lŸ重复定位精度±50nm Ÿ直线度±0.1μm，平面度±0.15μm lŸ摆角误差±0.5a
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2024-04-22 |
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QFU系列单轴气浮运动台
产品特点lŸ非接触闭式气浮结构 Ÿ行程100~1000mm可选lŸ亚微米级重复定位精度 Ÿ全行程直线度优于1μmŸ高柔线缆管理 Ÿ可定制
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2024-04-22 |
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NOTE-AB轴系列气浮转台
产品特点lŸ闭式气浮轴承结构 Ÿ精准回零点位置lŸ正交性 2~10arc sec Ÿ直驱零齿槽效应Ÿ轴心线重合度 2~10μmŸ解决气浮抱死问
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2024-04-22 |
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QFR系列气浮转台
产品特点lŸ闭式气浮结构 Ÿ直驱零齿槽效应lŸ定位精度±0.5arc sec Ÿ同步跳动误差10nmŸ精准回零误差 Ÿ高速度稳定性Ÿ最大承
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2024-04-22 |
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QFL3D系列三轴气浮运动台
产品特点lŸ三轴直驱气浮结构 Ÿ重复定位精度±50nmlŸ结构紧凑、精度高Ÿ全行程直线度±0.1μmŸ根据需求可定制 Ÿ高柔线缆管理
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2024-04-22 |
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QFL-XY-SG系列三轴高精度运动台
产品特点ŸXY轴非接触式气浮结构 ŸZ轴平升直驱结构lŸ结构紧凑、精度高Ÿ亚微米级重复定位精度ŸXY直线度±50nmŸZ直线度1μm内
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2024-04-22 |
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QFU-A系列双轴气浮运动台
产品特点lŸ非接触闭式气浮结构Ÿ光栅尺闭环反馈lŸ亚微米级重复定位精度 Ÿ直线度平面度优于1μmŸ优化线缆管理 Ÿ可定制化设计
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2024-04-22 |
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JXRAB系列机械转台
产品特点Ÿ直驱结构转台，闭环控制 Ÿ结构紧凑，节省安装空间Ÿ高动态、高扭矩及高精度 Ÿ可选增量或绝对光栅反馈Ÿ轴向和径向跳
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2024-04-22 |
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