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准源激光技术河北有限公司

电子工业专用设备制造、研发、销售;准分子激光器生产、研发、销售;光电技术推广:软...

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准分子激光剥离系统:结构紧凑、光斑匀化效果好、传输效率高
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产品: 浏览次数:159准分子激光剥离系统:结构紧凑、光斑匀化效果好、传输效率高 
品牌: 准源激光
单价: 面议
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发货期限: 自买家付款之日起 60 天内发货
有效期至: 长期有效
最后更新: 2024-08-10 15:02
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详细信息

技术特点:

1、193/248/308nm 激光器,短脉宽,高峰值功率;

2、静态气体寿命 >30 天;

3、激光器寿命 >5亿次脉冲;

4、最高能量密度 10J/cm²;

5、多种光路方案,可定制;

6、同轴机器视觉示意图,所见即所得,反射/透射同轴照明;

7、X,Y位移台安装在刚性花岗岩基座上,线性驱动,±1mm精度;

8、电动焦点控制(沿 Z 轴);

9、配有同轴和离轴相机,模式识别软件可选;

10、功能全面,易于操作的专用加工软件;


应用领域:

1、LED 蓝宝石衬底剥离;

2、柔性屏与玻璃基板剥离;

3、微流控芯片;

4、柔性电路板加工;

5、玻璃表面微结构;

6、MiniLED剥离;

7、MircoLED剥离巨量转移;

8、激光修复;

9、晶圆与载体激光解键合;


光束传播特点:

1、能量控制范围 10-80%;

2、缩倍比 4x-20x;

3、焦距 25mm~150mm;

4、目标能量密度 0.25-10J/cm² ;


准分子激光传输/照明/机器视觉系统示意图 


参数:

波长193nm  /  248nm  /  308nm
脉冲宽度5-20ns
单次剥离尺寸< 0.2x0.2mm方光斑或50x0.1mm线光斑
光学分辨率1um
最高能量密度10J/cm²

脉冲稳定性

~1%
脉冲重复频率1-100Hz/1000Hz
系统框架大理石光学基座以及金属框架结构
机器视觉同轴照明/观察,所见即所得
投影物镜紫外超长工作距离物镜
X/Y轴电动平台100mm x 100mm/200mm x 200mm/300mm x 300mm,±1um重复定位精度
Z轴电动平台25mm,±1um重复定位精度
电动衰减器10%-80%电动连续可调
控制软件10%-80%电动连续可调


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