压电马达一般分为交流压电马达和直流压电马达。运动方式分为旋转和直线运动两种。压电马达由振动件和运动件两部分组成，一般体积较轻、薄、小巧。
由于压电陶瓷在电压下产生的位移非常精细，在微纳米量级，且振动或伸缩的幅值很微小，因而特别适用于制成超高精度的运动马达，获得微小的位置调整。
直线与旋转压电马达的原理
压电马达的结构形式很多，但多数的动作原理相同，都是利用压电陶瓷在电压作用下发生振动，驱动运动件旋转或直线运动。
直线运动的压电马达是采用粘滑原理，一般采用单个压电陶瓷或多个压电陶瓷驱动。通过压电陶瓷的振动完成移动平台的直线运动。采用单个压电陶瓷的结构，通过调整压电陶瓷的运动方向及速度来控制。采用多个压电陶瓷驱动的结构，一般具有两种压电陶瓷，一种压电陶瓷的位移方向与运动方向垂直，控制压电陶瓷与移动件的接触与分离；另一种压电陶瓷的位移方向与运动方向平行，通过压电陶瓷的振动驱动运动平台的直线运动。
旋转型压电马达也是由压电陶瓷驱动，压电陶瓷在电压作用下产生振动，通过爪杆使棘轮旋转，实现旋转运动。
芯明天压电马达
芯明天可提供直线与旋转压电马达，直线马达的运动范围可达123mm，角度旋转压电马达的运动范围可达360度。
| ~10"） | |||
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满行程重复度 |
< 1nm |
扫描分辨率 |
< 1~2µ° |
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速率 |
> 20mm/s |
角速度 |
≥15°~≥45°/s |
直线压电马达 部分展示
一维X向运动直线压电马达
直线与角度组合式压电马达
直线与旋转组合式三维压电马达
