德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移台 型号 P-733.3DD

公司介绍：

北京汉达森机械技术有限公司是一家从事欧洲工业产品进口贸易的公司。主要产品有工业自动化设备、机电设备、液压设备、电气设备和零部件等产品。公司总部于2007年在德国成立。公司自成立以来，一直以德国公司的身份为国内一些贸易商，设备商及终端客户提供产品代购服务。

应用领域：

扫描显微镜

共聚焦显微镜

掩模/晶圆定位

表面测量技术

纳米压印

显微操纵

图像处理/稳定

高运动平面度和直线度的纳米定位

型号：P-733.3DD

主动轴：X、Y、Z

集成传感器：电容式

-20至120伏时的开环行程：33微米×33微米×14微米

行程，闭环：30微米×30微米×10微米

分辨率，开环：0.1纳米

分辨率，闭环：0.1纳米

线性误差（X、Y）：0.03%

线性误差（Z）：0.03%

重复精度（X、Y）：<2纳米

重复精度（Z）：<1纳米

螺距（X、Y）：<±5微弧度

偏转角（X、Y）：<±10微弧度

Z向运动时的倾斜：<±5微弧度

刚度：4（Z向上为10）牛/微米

谐振频率，空载：1200（Z向上为1100）赫兹

带120克负载时的谐振频率：–赫兹

带200克负载时的谐振频率：530（Z向上为635）赫兹

运动方向上的推/拉力：50/20牛