德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移台 型号 P-541.ZCD

公司介绍：

北京汉达森机械技术有限公司是一家从事欧洲工业产品进口贸易的公司。主要产品有工业自动化设备、机电设备、液压设备、电气设备和零部件等产品。公司总部于2007年在德国成立。公司自成立以来，一直以德国公司的身份为国内一些贸易商，设备商及终端客户提供产品代购服务。

应用领域：

扫描显微镜

超分辨率显微镜

生物技术

掩模/晶圆定位

样本定位

干涉测量

计量

产品参数：

型号：P-541.ZCD

主动轴：Z

集成传感器：电容式

-20至120伏时Z向上的开环行程：150微米

θX、θY向上-20至120伏时的开环偏摆角：–毫弧度

Z向上的闭环行程：100微米

θX、θY向上的闭环偏摆角：–毫弧度

Z向上的分辨率，开环：0.2纳米

θX、θY向上的开环分辨率：–微弧度

Z向上的闭环分辨率：0.5纳米

θX、θY向上的闭环分辨率：–微弧度

Z、θX、θY向上的线性误差：0.03%

Z向上的重复精度：<2纳米

θX、θY向上的重复精度：–微弧度

θX、θY向上的串扰（Z向运动）：±15微弧度