德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移台 型号 P-528.TCD

公司介绍：

北京汉达森机械技术有限公司是一家从事欧洲工业产品进口贸易的公司。主要产品有工业自动化设备、机电设备、液压设备、电气设备和零部件等产品。公司总部于2007年在德国成立。公司自成立以来，一直以德国公司的身份为国内一些贸易商，设备商及终端客户提供产品代购服务。

应用领域：

计量

干涉测量

光子学/集成光学

平版印刷术

纳米定位

扫描显微镜

样本对准

微加工

型号：P-528.TCD

主动轴：Z,θX,θY

集成传感器：电容式

-20至120伏时Z向上的开环行程：240微米

θX、θY向上-20至120伏时的开环偏摆角：±1.2毫弧度

Z向上的闭环行程：200微米

θX、θY向上的闭环偏摆角：±1毫弧度

Z向上的开环分辨率：0.6纳米

θX、θY向上的开环分辨率：0.06微弧度

Z向上的闭环分辨率：1纳米

θX、θY向上的闭环分辨率：0.1微弧度

θX、θY向上的线性误差：0.03%

Z向上的重复精度：±10纳米

θX、θY向上的重复精度：±0.1微弧度

θZ向上的串扰（Z向运动）：<20微弧度

θX、θY向上的串扰（Z向运动）：<100微弧度