产品特点

l Ÿ  非接触闭式气浮结构                                                    Ÿ  行程100~1000mm可选

l Ÿ  亚微米级重复定位精度                                                Ÿ  全行程直线度优于1μm

Ÿ  高柔线缆管理                                                                Ÿ  可定制化设计

应用领域

QFU系列是一款大行程气浮运动台，闭式气浮结构，常规最大行程1米，直线度优于1μm，用于精密加工、测试测量、扫描、半导体及光子学等行业。

结构特点

QFU系列主要采用气浮导轨、直线电机和光栅尺组成，闭式气浮结构，气浮导轨四面均匀受力，相较于开式气浮结构，侧向气浮刚度更大，承载能力更强，模态更高，系统带宽更大，相位裕度和幅值裕度余量更大，对于大体积、大负载及偏心安装等负载形式，更能突显其性能优势。

精度性能

气浮导轨基于气体静压效应，实现无摩擦和无振动地平滑移动，与摩擦式导轨相比，气浮运动台的直线度、平面度可达亚微米，Pitch Yaw指标可达1角秒内，由于非接触式，系统跟随误差有了质地提升，定位精度和重复精度得到了显著提高，行程100~1000mm可选。

线缆管理

使用高质量、高柔性的屏蔽线缆，管线弯曲半径更小，能够防止电子信号的干扰，同时防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮运动台的性能。

定制化

可定制陶瓷材质气浮导轨，1米行程直线度可优于±0.5μm，更大行程也可接受定制。

规格指标

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。

2. 取决于平台安装表面的平面度。

3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

4. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。

5. 为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。

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