QFU-A系列双轴气浮运动台_激光应用_激光应用的范围_激光商城

产品特点

l Ÿ 非接触闭式气浮结构 Ÿ 光栅尺闭环反馈

l Ÿ 亚微米级重复定位精度 Ÿ 直线度平面度优于1μm

Ÿ 优化线缆管理 Ÿ 可定制化设计

应用领域

QFU-A系列是一款闭式气浮导轨的双轴气浮运动台，十字叠层结构用于超精密加工、测试测量、高精度扫描、半导体及光子学等行业。

结构特点

双轴气浮运动台采用氧化铝气浮导轨、直线电机和光栅尺组成，十字叠层结构，底轴为三气浮导轨结构，上轴的运动行程尺寸在底轴宽度范围内，防止上轴出现悬空下塌，改善叠层后上轴的精度性能。气浮运动台为非接触式，随着时间地推移，不会出现磨损或性能下降。陶瓷材料弹性模量大、比刚度大，可有效提高系统刚性和带宽，增加控制系统的相位裕度和幅值裕度。

精度性能

双轴气浮运动台的定位精度±0.2μm，重复定位精度±0.1μm，直线度±0.3μm，平面度±0.5μm，Pitch Roll±2arc sec，Yaw±0.8arc sec。

线缆管理

精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮运动台的性能，使用高质量的线缆，以确保无故障操作。

定制化

可定制陶瓷材质气浮导轨，重复定位精度±15nm。行程可接受定制。

规格指标

型号	单位	QFU-A-200-200	QFU-A-300-300	QFU-A-400-400
轴系	—	X	Y	X	Y	X	Y
行程	mm	200	200	300	300	400	400
补偿后定位精度	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.15	±0.15	±0.15	±0.15	±0.2	±0.2
标准值	±0.2	±0.2	±0.3	±0.3	±0.4	±0.4
双向重复定位精度	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.075	±0.075	±0.075	±0.075	±0.1	±0.1
标准值	±0.1	±0.1	±0.15	±0.15	±0.2	±0.2
直线度 ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.1	±0.1	±0.15	±0.15	±0.3	±0.3
标准值	±0.4	±0.4	±0.75	±0.75	±1	±1
平面度 ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.2	±0.2	±0.4	±0.4	±0.5	±0.5
标准值	±0.4	±0.4	±0.75	±0.75	±1	±1
Yaw ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	arc sec	±0.4	±0.4	±0.75	±0.75	±0.8	±0.8
标准值	±1	±1	±1.5	±1.5	±2	±2
Pitch Roll ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	arc sec	±0.5	±1	±1	±1.5	±1.5	±2
标准值	±1	±2	±2	±3	±3	±3.5
电子分辨率 ⁽³⁾	nm	0.3 或 5（选配）
最大速度 (空载) ⁽⁴⁾	m/s	1
最大加速度 (空载) ⁽⁴⁾	m/s²	5,（10, 20 定制）
最大负载	kg	20
供气压力 ⁽⁵⁾	MPa	0.5±0.05

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。

2. 取决于平台安装表面的平面度。

3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

4. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。

5. 为保护气浮导轨不受压力影响，建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。