产品特点
l Ÿ 非接触闭式气浮结构 Ÿ 行程50~200mm可选
l Ÿ 重复定位精度±75nm Ÿ 全行程直线度0.1μm
l Ÿ 优化线缆管理 Ÿ 可定制化设计
应用领域
QFUZ系列是一款侧挂在大理石横梁上的精密气浮Z轴，闭式气浮结构，刚度大，用于飞秒激光加工、测试测量、半导体及光子学等行业。
结构特点
精密气浮Z轴闭式气浮结构，气浮导轨四面均匀受力，对于一些大体积、大负载在气浮导轨上不均匀分布的应用，更能突出性能优势，行程50~275mm可选。配置无摩擦重力平衡气缸，有效地抵消电机向上持续输出力，提升精度性能，同时断使能后负载不会受重力影响而向下脱落。
精密性能
气浮导轨实现无摩擦地平滑移动，与摩擦式导轨相比，气浮的非接触式结构，使直线度、平面度、Pitch Yaw、跟随误差、定位精度和重复定位精度得到提高 。
线缆管理
使用高质量带屏蔽的线缆，管线弯曲半径更小，能够防止电子信号的干扰，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮运动台的性能，以确保无故障操作。
定制化
可定制陶瓷材质气浮导轨，重复定位精度±15nm；定制最大加速度5m/s²；行程也可接受定制。
规格指标
型号 | 单位 | QFUZ-50 | QFUZ-100 | QFUZ-150 | QFUZ-200 | |
行程 | mm | 50 | 100 | 150 | 200 | |
补偿后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 |
标准值 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ||
双向重复定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.05 | ±0.075 | ±0.075 |
标准值 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ||
直线度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.05 | ±0.1 | ±0.1 |
标准值 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.4 | ±0.4 | ||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.2 | ±0.2 |
标准值 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.4 | ±0.4 | ||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.25 | ±0.25 | ±0.4 | ±0.4 |
标准值 | ±0.5 | ±0.5 | ±1 | ±1 | ||
电子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（选配） | ||||
最大速度 (空载) (4) | mm/s | 50 | 100 | 300 | 300 | |
最大加速度 (空载) (4) | m/s² | 1,（5 定制） | ||||
最大负载 | kg | 20 | ||||
供气压力 (5) | MPa | 0.5±0.05 |
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。
2. 取决于平台安装表面的平面度。
3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
4. 空载条件下的指标，最大速度和加速度取决于负载大小。
5. 为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。
