设备简介

TOL-5100P/5050P/5030P皮秒激光微加工系统采用国际上先进的超快激光器，适合多种苛求微细精密，敏感无损、干净早齐的应用，以“冷加工”为特色，主要应用于陶瓷、硅片、玻璃、蓝宝石、等薄、脆、硬、透明材料精密切割。划线加工，加工表面无热损伤现象，最小崩边尺寸可达到5μm以内。

产品特征

1、冷切去除，皮秒级时间能量释放，材料无受热变性之虞; 

2、定深去除，原子级反应，控制加工深度几乎不受材料种类限制;

3、清净去除，生成物呈离子态被收集，被加工面保持材料本色; 

4、00级大理石工作台，龙门结构，稳定性极高;

5、专业软件，应用经验的表达，智能工程数据处理，易快设备操控;

6、选用全闭环直线电机，加工速度快，精度高，最小分辨率可达1μm; 

7、独有三维空间光学设计结构，光学质量优秀。

应用领域

TOL-5100P/5050P/5030P皮秒激光微加工系统主要应用于蓝宝石、蓝玻璃、陶瓷、半导体等超硬透明易碎材料的激光切割、钻孔等加工。

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