激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具，可按照规定标准处理测量数据并输出误差曲线，为数控机床的误差 修正提供可靠依据，现场使用尤为方便。

激光干涉仪配有各种附件，可测量小角度、平面度、直线度、平 行度、垂直度等形位误差。

激光干涉仪也是一种高精度位移传感器，可直接用于高精度、大 尺寸的动态位移测量系统。

激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量 元件的检测和刻划功能，可按预定的间距自动完成检测和刻划定位。

1.测量精度高、速度快，稳定性好

①使用美国高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)

②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级

③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。

④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度

⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变

2. 应用范围广

①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测

②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析

③ 可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析

3.软件界面友好

①使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。

②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。

③向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。

4 性价比高

性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。

 
三.中图仪器激光干涉仪技术参数

      系统性能

² 测量方式：单频

² 稳频精度：0.05ppm

² 动态采集频率：50 kHz

² 预热时间：5-10分钟

² 工作温度范围：0~40℃

² 环境温度范围：0~40℃

² 存储温度范围：-20℃~70℃

      环境补偿示值误差

² 空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

² 材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

² 空气湿度传感器：±6% (0-95%)

² 大气压力传感器：±1mBar (650-1150mbar)

      线性测量

² 测量距离：0-40m

² 测量精度：0.5ppm (0-40℃)

² 测量分辨率：1nm

² 测量最大速度：4m/sec