激光干涉仪可对机床、三测机及各种定位装置进行高精度的（位置和几何）精度校正，并可完成按标准测量各项参数，如线形位置精度、重复定位精度、角度、直线度、垂直度、平面度及平行度等。另外，它还具有若干为机床厂商和用户所欢迎的选择功能，如自动螺距误差补偿（适用大多数控系统），机床动态特性测量与评估，回转坐标分度精度标定，触发脉冲输入、输出功能等。
二.SJ6000激光干涉仪测量方法（垂直度测量）
垂直度的测量是直线度测量在二维方向上的延伸，进行垂直度测量就是在同一基准上对两个标称正交轴分别进行直线度的测量。然后对两个轴的直线度进行比较，得出两个轴的垂直度。
共同的参考基准通常指的是两次测量时反射镜的光学准直轴，在两次测量过程中既不移动、也不调整，光学直角尺用于至少一次测量中，允许调整激光束与直线度的准直，而不动直线度反射镜。
垂直度测量应用
机器轴垂直度误差测量（数控机床、坐标测量机等）
垂直度测量通过比较直线度值从而确定两个标称正交坐标轴的非直角度。垂直度误差可能是导轨磨损、事故造成导轨损坏或机器地基差或龙门双驱动机器上的两原点传感器未准直造成的。垂直度误差将对机器的定位精度及插补能力产生直接影响。
典型情况下对于超过1.5米长的机器轴，像使用激光干涉仪这样的光学方法是唯一的选择，因为传统的实物基准，如直角尺（金属或大理石等）的长度一般局限于1米的范围内。
X,Y轴垂直度对准
X,Y工作台和水平面垂直度测量光学镜组的设定如图所示。不管是什么类型的XY平台，包括龙门型或者混合型或者其他类型的XY平台，无论是大型或者小型平台，重要的是有一个共同的参考基准，就如图中所示的直线度反射镜。测量过程中直线度反射镜保持不动。
