所示是为一种典型的CO2激光器结构示意图。构成CO2激光器谐振腔的两个反射镜放置在可供调节的腔片架上,最简单的方法是将反射镜直接贴在放电管的两端。
基本结构:
①激光管
激光器中最关键的部分。通常由三部分组成(如图1所示):放电空间(放电管)、水冷套(管)、储气管。放电管通常由硬质玻璃制成,一般采用层套筒式结构。它能够影响激光的输出以及激光输出的功率,放电管长度与输出功率成正比。
在一定的长度范围内,每米放电管长度输出的功率随总长度而增加。
一般而言,放电管的粗细对对输出功率没有影响。
水冷套管的和放电管一样,都是由硬质玻璃制成。它的作用是冷却工作气体,使得输出功率稳定。
储气管与放电管的两端相连接,即储气管的一端有一小孔与放电管相通,另一端经过螺旋形回气管与放电管相通。它的作用是可以使气体在放电管中与中循环流动,放电管中的气体随时交换。
②光学谐振腔
光学谐振腔由全反射镜和部分反射镜组成,是CO2激光器的重要组成部分。光学谐振腔通常有三个作用:控制光束的传播方向,提高单色性;选定模式;增长激活介质的工作长度。
最简单常用的激光器的光学谐振腔是由相向放置的两平面镜(或球面镜)构成。CO2激光器的谐振腔常用平凹腔,反射镜采用由K8光学玻璃或光学石英加工成大曲率半径的凹面镜,在镜面上镀有高反射率的金属膜——镀金膜,使得波长为10.6μm的光反射率达98.8%,且化学性质稳定。我们知道二氧化碳发出的光为红外光,因此反射镜需要应用透红外光的材料。因为普通光学玻璃对红外光不透,就要求在全反射镜的中心开一小孔,再密封上一块能透过10.6μm激光的红外材料,以封闭气体,这样就使谐振腔内激光的一部分从这一小孔输出腔外,形成一束激光。
③电源及泵浦
泵浦源能够提供能量使工作物质中上下能级间的粒子数翻转。封闭式CO2激光器的放电电流较小,采用冷电极,阴极用钼片或镍片做成圆筒状。30~40mA的工作电流,阴极圆筒的面积500cm2,不致镜片污染,在阴极与镜片之间加一光栏。
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