今朝SPI公司的产物重要分为连续光纤激光器和脉冲光纤激光器两大类。连续光纤激光器包含25~400W系列产物,脉冲光纤激光器包含10~40W系列产物。连续光纤激光器重要用于硅片切割;脉冲光纤激光器重要用于硅片划刻、打孔和打标等。G3脉冲激光器——与基于Q开关技能的光纤激光器分歧的是,SPI公司的10~40WG3(第三代)脉冲激光器采纳主振荡功率放大(MOPA)技能,因为其输入频次是由种子光的频次决议的 ,而种子激光的频次可经由过程电调制的方法直接节制,是以该激光用具有连续输入(当种子光的 输入为连续输入时)和脉冲输入(当种子光的输入为脉冲输入时)两种操纵形式。在脉冲模
式下,40W脉冲激光重视频次范畴为1~500kHz,峰值功率可达20kW,单脉冲能量可达1.25mJ,脉冲宽度可达10nm,而且内置25种波形可供抉择。均匀功率、峰值功率、脉冲频次和脉冲宽度等参数可按照利用需要调解,从而极大地拓宽了G3激光器在硅片加工范畴的利用范畴,极大地进步了加工服从。R4连续激光器体系——SPI公司的连续激光器包含25~200W风冷激连续光器和100~400W水冷连续激光器,最大调制频次为100kHz,输入功率不乱性为±0.5%。
激光切割晶圆
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