3D微钻孔
紫外激光器在大面积结构和三维微加工应用中均表现不俗。借助适合的光束和扫描系统技术，激光器可以在目标工件上加工出边沿清晰、纹理均匀一致的效果；同时，客户能够精确控制单个脉冲所能清除的材料的量，确保材料加工的高分辨率及高光洁度。在重复频率为400 Hz（高脉冲能量准分子激光器）时，典型清除速度为0.05-1.5 μm/脉冲。如果是重复单一图案，激光光刻本身也可以包含一排图案阵列。如果能进一步配合激光光刻和工件的移动，还可以创建更为大型和复杂的图案。
1. 用紫外线激光光刻系统统进行圆形图案微铣削
用圆形激光光刻，在目标工件上的成像为激光光刻的一半，然后将工作台设置为圆形移动，这样就可以形成所需的圆形图案。
2. 用紫外线激光器加工微流通道
繁复的激光光刻成像技术的问世，使更为复杂的形貌加工成为可能。使用高分辨率激光光刻，可以在较大面积范围内同时生成具有多重特点的复杂图案。下图所示为用紫外线激光器加工微流通道，其特点是对深度的控制极为精确。
3. 带有凸起阵型的微铣削
下图为一个带有凸凹特点的复杂图案，这种微加工对于容差有相当高的要求。由于多数材料都会强烈吸收紫外线，再加上设计精密的成像系统及高精度移动控制，可确保得到平稳的、均匀的、雕刻性的图案，重复性达到亚微米级。
4. 复杂的3D图案
下图是另一个利用IPG成像系统实现的具有复杂几何特性的示例。IPG成像系统可实现在极小的面积范围内清除大量材料，同时实现对容差及深度的精确控制。
微钻孔
微钻孔应用包括通孔和盲孔，而且不同的应用需求可能需要的垂直侧壁或是锥形侧壁。孔径可以小至2 μm，排列精确度达到亚微米级。钻孔速率最大达1,000孔/秒。
从热影响到激光耦合，每种材料总是会面临这样或那样的挑战。IPG系列激光器及光束传输技术，使客户能够根据不同应用的需求进行系统优化，实现生产的速度化及自动化。
在激光钻孔应用中，人们对于形状多样化和小孔径钻孔（<100 μm）的需求正在逐步增加，这种新的需求热点要求锥形角度可控，直至0°，同时还要能够覆盖多种材料类型，以及多种材料厚度，甚至达到数毫米。另外，人们对质量和产能的要求也在进一步提高，尺寸和定位容差更小。这就需要我们改进生产工艺，使用更高级的过程控制系统及激光源，以满足不断提升的的行业要求。
1. 陶瓷钻孔
IPG陶瓷钻孔系统可根据应用需求，配置多种激光器及光束传输系统。氧化铝、氮化铝以及类似陶瓷材料的微钻孔应用（孔径<100 μm）常见于电子元件的封装和内插板生产。
孔径最小可至不足10 μm，钻孔速度最大可达1,000孔/秒。下图所示为380 µm氧化铝，钻孔数量20,000个。
2. 金属钻孔
金属钻孔的材料类型包括不锈钢、黄铜、钼及合金等，孔的类型包括盲孔或通孔。孔的形状包括圆形和不规则形状。出口处的孔径可小至5 μm。下图所示为在厚度为100 μm的钼材上进行孔径为100 μm的钻孔。
3. 聚合物钻孔
聚合物钻孔的材料类型包括聚酰亚胺，聚苯乙烯，聚氨酯及其他热敏感聚合物膜材等，孔的类型包括钻通孔或盲孔。孔径可小至2 μm。通常使用多孔、大视场紫外线加工，以获得高通量。下图所示为PMMA钻孔，入口孔径50 μm，出口孔径5 μm。
4. 聚酰亚胺钻孔
孔径可小至2 μm。下图所示为带有方形沉头孔的喷墨打印机喷嘴。
5. 热塑性塑料钻孔
热塑性塑料钻孔表示在热塑性塑料上钻通孔或盲孔。孔径可小至2 μm。通常使用多孔、大视场紫外线加工，以获得高通量。下图表示的是在1 mm ABS上进行孔径为30 µm的钻孔。
6. SiN针测卡钻孔
激光钻孔应用对于形状多样化和小孔径钻孔（<100 μm）的需求正在逐步上涨，这种新的需求热点要求锥形角度可控，直至0°，同时还要能够覆盖多种材料类型，以及多种材料厚度，甚至达到数毫米。IPG微加工激光系统采用适合的光束传输技术，可在厚度最大为380 µm的SiN材料进行高速微钻孔，厚度为380 µm时，时间不足2秒；当厚度降至<250 µm时，时间不足1秒，也可以钻锥度可控，甚至是0°的方孔。
下图所示为光束紧密聚焦的高速钻孔示例：65x65 µm方孔，侧壁10 µm，SiN厚度为200 µm。
7. 玻璃钻孔
具有高重复频率和短波长的激光器是玻璃微钻孔的理想选择。这些激光器与IPG精密微细加工工作站相结合，可实现高质量的钻孔圆度、尖角切割、最小锥度，无破裂、碎屑最小化。下图所示为在玻璃上进行孔径为1 µm的钻孔。
关于IPG
IPG光子公司是全球高功率光纤激光器和放大器的领导者。公司始创于1990年，它倡导将基于有源光纤的激光器推广应用于材料加工、通讯、医疗、科研等多种先进领域，并使其商业化。光纤激光器的应用为激光领域带来了革命性的变革，它凭借卓越的性能、可靠性、综合使用成本低等优势，在为用户提高生产率的同时降低了成本。IPG总部设在美国东部马萨诸塞州牛津市，并在全球多个国家建有生产、销售及服务基地。阿帕奇（北京）光纤激光技术有限公司是IPG光子公司在中国的全资子公司，主要负责IPG光纤激光产品在中国地区的市场开拓、应用研发、系统集成、产品销售、售后服务和技术支持。
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