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市场研究

CO2-SP-A自动化蓝宝石晶圆激光打标系统

星之球科技 来源:大族激光科技产业集团股份有限公司2015-07-01 我要评论(0 )   

一.工艺背景  蓝宝石晶圆产品广泛应用于各行业,诸如各种电子设备,发达国家们正深度拓展和挖掘与蓝宝石晶圆相关的市场。当然

  蓝宝石晶圆产品广泛应用于各行业,诸如各种电子设备,发达国家们正深度拓展和挖掘与蓝宝石晶圆相关的市场。当然,国内市场也开始涌动起来,因此,许多厂家开始看好市场,纷纷将触角伸向蓝宝石晶圆加工领域。而生产加工蓝宝石晶圆产品的CO2激光打标机器就成为了准入门槛,换句话说,如果您想快速占领国内蓝宝石晶圆市场,就必须拥有性能卓越的CO2激光打标机器,大族激光CO2-SP-A自动化蓝宝石晶圆打标系统应运而生。
 
  蓝宝石晶圆行业的客户需要在晶圆片上进行文字标记以进行区分标识和管理,为满足客户对于多种规格产品的生产要求(产品规格:2寸,4寸,5寸,6寸,8寸,配置度≤8.0μ GTIR,翘曲度≤60.0μ,弯曲度≤60.0μ。),以及工艺上的多种要求(标记客户需求字体的数字及字母字符,要求标记清晰美观;标记内容为流水号时,要求软件具备自动跳号功能;打标位置精度:±0.1mm,打标字符与参考面平边平行,角度<3°;从晶圆盒中自动取、放工件,不能损伤晶圆。)。大族激光CO2产线专门研发了配套的自动化设备,CO2-SP-A自动化蓝宝石晶圆打标系统,该系统具有自动取、放片,自动定位打标和CCD自动识别功能。工作台的激光打标部分在全密封的环境中进行,并配备抽风除尘装置,保证客户对工件的洁净度要求。此外,还制作了专门的字库来满足客户对不同字体的需求。
 
  1. 可选择正面或反面打标,手臂可进行翻面选择功能,单抛片只能接触背面,可进行单抛片、双抛片的镭刻;2. 拥有晶圆镜面及磨砂面检测功能;3. 拥有晶圆上是否标记过的检测功能;
  4. 拥有根据外部二维码信息调整打标内容及打标参数功能;5. 拥有手动生成生产批次记录功能;6. 拥有操作权限功能。
 
  激光功率:30W
  加工效率:300片/小时
  重复定位精度:±0.05mm
  设备尺寸(长×宽×高):1700mm×1900mm×2100mm(设备主体)?定位方式:CCD定位?字符与参考面角度误差:<3°
  电力需求:单相AC220V/50Hz
  用气需求:5 kg/cm2
  四.应用样品
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CO2激光激光技术
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