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深度解读
激光照射形成铜布线 线宽10~200μm
星之球激光 来源:日经技术在线2016-04-06 我要评论(0 )
日本芝浦工业大学2016年3月31日宣布,开发出了只需照射激光即可轻松形成铜布线的技术。该技术无需在特殊环境下使用特殊设备来形成铜布线,因此有望成为能够低成本轻...
日本芝浦工业大学2016年3月31日宣布,开发出了只需照射激光即可轻松形成铜布线的技术。该技术无需在特殊环境下使用特殊设备来形成铜布线,因此有望成为能够低成本轻松生产显示屏及智能手机等。
电子产品的布线材料以前广泛使用性能高但价格贵的金和银,而近年来业内开始积极运用性能较高、成本较低的铜。但铜容易氧化,在通常环境(大气)下难以操作,需要使用大型真空设备及复杂的制造工艺。
此次通过在玻璃基板上涂布拥有热分解性的铜络合物溶液,并照射激光,成功促进了铜络合物的化学反应,使铜固定下来。即使在通常的大气环境下也可形成铜布线,而且除铜外只会释放气体(CO2等),无需后处理。目前确认可形成数10μ~200μm宽的布线。
芝浦工业大学同时还在研究以塑料等有机无机混合树脂为基板、又轻又薄、可卷起可弯折的柔性显示器,目标是将使用此次技术的柔性显示器投入实用。今后该大学将与企业等合作,对更微细的布线形成以及工艺的精密化展开研究。
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