Problem
PERC电池激光加工正成为一项标准工艺,对硅晶电池生产者来说,在单晶硅和多晶硅的生产中激光加工是一种必要加工方式。电池背面钝化层(Al2O3/SiNx orSiOx/SiNx)大大提高了太阳能电池效率。为了在烧制过程中使背面的铝涂层面与硅相融合,激光消融过程中后侧5%的区域必须被处理。如此之后,只需较短的时间,产量便可提升至4500片每小时。
Solution
Dual Line c-Si™模块平台有两条独立传送带传送晶片,每一条都配备激光器。机器的核心是用高精度花岗岩基座来支持激光源和晶片快速传送。光学器件以及硅片加工处理中心部分。该系统的特点是“飞行加工”工艺,基本减少了激光加工周期中硅片传送及转运时间,大大提升了生产效率,每小时的加工速度可达4500片。
Applications
通过划实线,虚线,点线加工进行PERC电池的激光加工。其它激光应用,例如选择性发射极, MWT钻孔和边缘绝缘可以在同一平台上进行处理。
Platform
Dual Line c-Si™模块化平台可以在分批操作中置入其它加工机床或配置堆栈或盒式处理系统
Availability
目前在ROFIN德国和ROFIN中国可以实现此加工。
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