太阳电池制造是产业中最重要的一环，对于太阳电池制造商来说，增效降本始终是其追求的目标。如何从技术角度提高太阳电池转换效率，是在电池生产中不断探求解决方案的过程。

当前，PERC太阳电池量产转换效率已达到21.5%，主要得益于其背表面优异的钝化效果（氧化铝或氧化硅薄膜等）。对于其下一步提效方向,即降低正表面复合速率，其中SE结构（Selective Emitter）是达到此效果的重要技术。目前，实现SE结构的技术手段包括: 掩膜法、印刷磷源法、激光方式、硅墨技术、反蚀法等。对于PERC电池产线而言，激光PSG掺杂技术工艺过程最为简单，工艺流程中只需增加激光掺杂一个步骤；从设备上说，也只需增加掺杂用激光设备即可，与常规产线兼容性强，是行业研究热点。因此，PERC太阳电池叠加激光SE技术，成为当下各家光伏大厂提效的主要手段。

深圳市大族太阳能装备有限公司为满足客户需求，研制出高产能、工艺效果佳的激光掺杂设备，同时根据客户现场实际工艺情况，提供激光SE整体应用解决方案，可有效提高太阳电池转换效率。

激光掺杂技术原理：

激光掺杂技术是在金属栅线（电极）与硅片接触部分进行重掺杂，而电极以外位置保持轻掺杂（低浓度掺杂）。通过热扩散方式，在硅片表面进行预扩散，形成轻掺杂；同时表面PSG作为局部激光重掺杂源，通过激光局部热效应，PSG中磷原子二次快速扩散至硅片内部，形成局部重掺杂区。配合激光高精度图形化，可实现与后续丝网印刷完美套印效果。

激光局部掺杂即SE技术，主要有以下优势：

1）降低太阳电池串联电阻，提升FF；

2）减少表面复合，提高表面钝化效果；

3）表面低浓度扩散，提高了电池短波响应，提高短路电流和开路电压。

 

激光掺杂的优点：

1）仅需激光图形化一步即可完成，工艺流程简单；

2）局部激光热效应，最大限度降低高温对硅本体热损伤；

3）激光加工过程简单、无需化学处理，无污染。

大族激光掺杂设备：

大族太阳能装备自主研发的激光掺杂机，采用新一代光束整形技术（方形光斑、大小可调），能最大限度降低硅衬底损伤，产能高达5500pcs/h。设备内整体大理石平台、高精度CCD视觉定位系统、高速柔性传输机构、独立除尘系统等配置，保证碎片率低于0.05%。

除了激光掺杂技术以外，大族太阳能装备针对太阳能行业的需求，进行全面系统的技术研发和设备开发工作，致力于为太阳能行业提供整套成熟的激光解决方案，成为行业内激光加工装备的领先供应商。