随着超快激光技术的快速发展，飞秒激光因其相 对于皮秒激光的更短脉冲、更高峰值，应用优 势越来越明显，其中以玻璃表面涂层去除更能 体现优势。

玻璃基板 CIGS 太阳能薄膜电池刻蚀

CIGS 薄膜太阳能电池镀膜后，需要在指定区域用激光 将其刻蚀掉，皮秒和纳秒激光，去除镀膜时会有残留，同时 热量对玻璃表面产生损伤，降低了薄膜电池的透光率和使用 寿命。

武汉安扬激光技术有限责任公司研发的飞秒工业激光器 FemtoYL 系列产品，300fs 超窄脉宽，5000kHz 超高频率， <1.3 光束质量，<10um 的聚焦光斑 , 能有效解决这些问题。 依测试，优选参数为 1000kHz，10-30μj 脉冲能量（不同产 品），3000-5000mm/s 扫描速度。高能量密度的聚焦光斑， 在高速振镜的配合下，重叠率达 80%，快速高效，去除均匀， 使产品透光率高达 90% 以上；高效去除的同时，对玻璃 0 损伤，大幅提高产品寿命。

手机玻璃盖板去涂层

玻璃盖板因其高强度、高硬度、对信号无干扰等优势，在 手机行业广泛应用，通常后盖采用丝印工艺，之后辅以激光加 工去除指定位置的镀膜 或油墨。纳秒和皮秒激 光去除涂层时，热损伤 导致的玻璃强度明显下 降，降低盖板的抗冲击 性，同时去除存在残留， 极大影响了摄像头等功 能孔位置的透光性。

武汉安扬激光技术有限责任公司研发的飞秒工业激光器 FemtoYL 系列产品，能精确高效完美的去除预设区域的涂层。

产品油墨厚度一般为 10-40μm 之间，测试激光频率 300-800k，脉冲能量10-40uj，激光焦点距油墨面0-1mm 之间， 500-2000mm/s 扫描速度，重叠率 65-90%，依油墨厚度的差 别，优选出不同参数组合；同时配合 Femto'YL 飞秒光源的 超短脉冲，在极短的时间内将油墨层去除，累计热量不足以 使玻璃材质产生变化，配合振镜重复扫描，实现均匀去除油 墨的同时不损伤玻璃基底，以保证加工后的玻璃透光性好， 无内应力，无微裂纹，有效增强抗冲击。

相信随着超快激光的不断发展，以及行业需求的不断 推进，飞秒激光将会在科研领域，微电子器件，医疗器件， 3C 电子等更多领域的精密加工应用中，有更广阔的发展 空间。