6月17日,激光加工设备厂商大族激光在互动平台表示,公司在研光刻机项目分辨率3-5μm,主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用,今年有望实现小批量销售。
不久前,大族激光还在互动平台表示,目前公司正在研发光刻机项目,重心放在分立器件与LED等领域的应用。据了解,该光刻机产品应当是较为低端的光刻机设备。
资料显示,大族激光成立于1996年,是亚洲最大、世界排名前三的工业激光加工设备生产厂商,主要产品包括激光打标机系列、激光焊接机系列、激光切割机系列、新能源激光焊接设备、激光演示系列、PCB钻孔机系列、工业机器人等多个系列200余种工业激光设备及智能装备解决方案。(校对/Lee)
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