9月22日，大族激光科技产业集团股份有限公司（下称“大族激光”）在互动平台回复投资者关于研发光刻机技术的问题表示，公司光刻机项目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等方面的应用。

大族激光表示，公司和荷兰阿斯麦公司没有合作。荷兰阿斯麦（ASML）是全球领先的半导体行业光刻系统供应商，负责设计和制造光刻机。

此外，在回复投资者关于公司三季度订单情况时，大族激光称，公司三季度订单充足，产能利用率情况良好。公司应用于第三代半导体的设备已经实现批量销售。

大族激光1996年创立于深圳，是亚洲最大、世界排名前三的工业激光加工设备生产厂商，主要产品包括激光打标机系列、激光焊接机系列、激光切割机系列、新能源激光焊接设备、激光演示系列、PCB钻孔机系列、工业机器人等多个系列200余种工业激光设备及智能装备解决方案。