近日，广东省工业超短脉冲激光技术企业重点实验室通过了广东省科学技术厅组织的2022年考核评估，获得“良好”评级。

　　广东省工业超短脉冲激光技术企业重点实验室于2018年9月获批成立，依托大族激光科技产业集团股份有限公司（简称大族激光）联合暨南大学、华南师范大学进行建设管理，地址位于深圳市宝安区大族激光全球智造中心，占地面积超过6000平方米。

　　实验室由大族激光首席技术官吕启涛博士担任主任，专家委员会由3位院士与7位专家教授组成，专职研发人员超过40人。

　　实验室的建设瞄准国际超短脉冲激光一流技术，面向精密制造经济主战场，在高端制造技术领域，破解美西方对核心技术的限制，弥补科研院校在工程化及应用方面的短板。

　　主要围绕工业超短脉冲激光核心器件的技术突破、超短脉冲激光与物质的相互作用工艺研究，基于自主研发超短脉冲激光器的激光装备研究等方向,开展前沿技术研究与工业应用开发。

　　基础器件技术领先

　　助推自主激光技术角逐国际舞台

　　依托实验室建设，在超快激光晶体、工业级超快激光器智能控制系统等关键自研器件，光纤皮秒种子源等自制核心模块、百瓦级工业全固态红外皮秒激光器、高功率固体紫外皮秒激光器、高功率红外飞秒激光器等超短脉冲激光器方面成果丰硕。

　　实验室团队研制的红外皮秒激光器实现300W功率输出，此外，团队攻克了制造工艺和工程技术难题，将紫外波长转化效率提高到35%以上，非线性晶体单点寿命突破10000小时（国际平均2000小时），最大激光输出功率达105W（8 ps）。经过专家技术鉴定，该紫外皮秒激光器及装备“整体达到国际先进，部分国际领先水平”。市场表现上，5W-100W工业级皮秒激光器已经实现进口替代，经济效益显著。暨南大学团队针对全固态超短脉冲激光器晶体展开研究，取得突破性进展。团队利用提拉法自主制备的高质量Yb:CYA晶体，替代商用的Yb:YAG晶体作为激光介质，并应用于激光锁模系统中，显示出优异性能。

暨南大学制备的YB：CYA晶体

　　实验室相关成果获得“广东省科技进步奖一等奖”2项、“广东省科技进步二等奖”1项、中国光学学会“中国光学科技奖一等奖”2项、中国有色金属学会“工业科学技术二等奖”1项，申请（授权）各类专利超过20项。团队牵头（参与）承担国家级研发计划2项、省重点领域研发计划项目2项、市级技术攻关重点项目等3项、参与指定团体标准1项。

　　深耕行业应用

　　产业赋能共谋发展新篇

　　实验室面向产业应用需求，立足前沿技术，实现从实验室到市场应用的一站式服务。面向5G通讯、晶圆加工、医疗器械、3C电子等行业应用，研发团队对超短脉冲激光对玻璃、陶瓷、蓝宝石等硬脆性材料的加工工艺进行了重点研究。以超短脉冲激光“更快的刀、更准的尺”为抓手，开发出超快激光玻璃切割机、紫外皮秒晶圆切割机、高精度大幅面绿光皮秒激光微加工系统、全自动多头分光高精度蓝宝石镀层超快激光去除系统、多脉宽合束激光多层脆硬材料标记系统等多套激光加工装备，实现规模化生产。

　　华南师范大学团队针对超短脉冲激光烧蚀金属特性进行研究，系统开展了飞秒激光对不锈钢材料的切割、打孔工艺；实现钛合金表面超亲水性能的维纳结构构建。相关技术在实验室的“产学研用”体系下得到市场验证。

　　本实验室的建设推动了相关行业的技术革新，并带动上下游产业发展。实验室将继续秉承“基础器件技术领先，行业装备深耕应用”的发展战略，强化基础研究、突破核心技术，为广东省高端装备制造业转型升级助力，促进经济高质量发展，推动中国新型工业化建设，为实现制造强国战略贡献力量。