飞秒激光在脉冲模式下对玻璃进行自上而下的冲击钻孔。

据《激光制造网》了解，近日，法国波尔多大学强激光与应用研究所（CELIA）激光与物质相互作用研究小组开发出了一种使用“千兆赫兹脉冲”模式的飞秒激光进行玻璃微孔钻孔的新方法。

在《International Journal of Extreme Manufacturing（国际极限制造杂志）》中有描述，该工艺使用Amplitude的飞秒激光器，在千兆赫脉冲范围内运行，以研究一种新的玻璃微加工方法，该方法允许钻出无锥度的细长孔，内壁光滑，无任何裂纹玻璃。

通常，使用标准单飞秒脉冲的激光钻孔会产生长度非常有限且内表面粗糙的锥形孔。

无需化学蚀刻

这种新的激光与物质相互作用机制允许在一个步骤中直接钻出高纵横比的孔，而无需任何化学蚀刻。激光脉冲串参数的选择对于实现加工结构的出色微加工质量非常重要。

飞秒激光 GHz-burst 模式可以为新应用铺平道路，例如微电子，在这些应用中，硅中介层可能会被玻璃中介层取代。

飞秒激光以千兆赫兹脉冲而不是重复的单脉冲运行，能够与玻璃材料相互作用，结合两个优点：材料中的激光能量沉积分布在更长的时间内，从而产生高效、可控的累积状态，而飞秒激光脉冲出色的微加工质量得以保留。由此产生的自上而下的冲击钻孔可提供无锥度、细长且无裂纹且内壁光滑的孔。

CELIA简介

CELIA 是激光及其与物质相互作用的卓越中心。对激光开发、超短强激光物质相互作用和应用进行研究，从热致密等离子体的物理学到激光-分子或激光-原子相互作用。三个基于 Ti:sapphire 和 Yb:fiber 的最先进激光驱动器为九个设备齐全的终端站供电，包括二次 XUV 和 X 射线源。