近期,中科院理化所先进激光技术与应用课题组基于Nd:YAG激光三倍频产生紫外激光的技术路线,突破了高功率纳秒调Q脉冲振荡、低波前畸变行波放大、紫外强激光薄膜制备、高抗损伤高稳定性紫外变频等系列关键技术,研制出百瓦级大能量纳秒脉冲紫外固体激光器样机。
该样机通过了专家组现场测试,获得355nm激光平均功率138.8W、单脉冲能量达180mJ、脉冲宽度26.6ns、重复频率800Hz,连续工作8h功率不稳定度<1.8%,综合指标达到国内领先、国际先进。该百瓦级大能量纳秒脉冲紫外固体激光器在超精密冷加工、激光退火、激光镀膜、激光掺杂等领域具有重要应用。
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