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- 2020-11-15 23:30中国第一的激光巨头,量产光刻机,90%的核心部件自产
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- 2020-10-28 09:47中科院:通过激光达到5nm实验室光刻精度
- 2020-09-23 13:55大族激光:光刻机项目分辨率3-5μm,和阿斯麦没有合作
- 2020-09-22 10:262020年德国未来奖颁给通快、蔡司和弗劳恩霍夫的EUV光刻开发人员
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