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镀膜

真空镀膜设备篇

星之球科技 来源:成都市江泰真空镀膜科技2011-07-28 我要评论(0 )   

真空:低于一个大气压的气体状态。 1643年,意大利物理学家托里拆利(E.Torricelli)首创著名的大气压实验,获得真空。 自然真空:气压随海拔高度增加而减小,存在于宇宙...

真空:低于一个大气压的气体状态。

1643年,意大利物理学家托里拆利(E.Torricelli)首创著名的大气压实验,获得真空。

自然真空:气压随海拔高度增加而减小,存在于宇宙空间。

人为真空:用真空泵抽掉容器中的气体。

n 真空量度单位

1标准大气压=760mmHg=760(Torr)

1标准大气压=1.013x105 Pa

1Torr=133.3Pa

n 真空区域的划分

目前尚无统一规定,常见的划分为:

粗真空 105-103pa(760-10Torr)

低真空 103-10-1pa(10-10-3Torr)

高真空 10-1-10-6pa(10-3-10-8Torr)

超高真空 10-6-10-10pa(10-8-10-12Torr)

极高真空 <10-10pa(<10-12Torr)

n 真空技术的应用

电子技术、航空航天技术、加速器、表面物理、微电子、材料科学、医学、化工、工农业生产、日常生活等各个领域。

  • OLED蒸发设备
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  • 立式ITO镀膜生产线
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