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固体激光器

Coherent AVIA-半导体泵浦固体调Q激光器

星之球激光 来源:Coherent2011-08-04 我要评论(0 )   

AVIA- 半导体泵浦固体调 Q 激光器家族,输出波长为 532nm,355nm,266nm ,在 532nm 波段能够实现最高38W的功率输出。 它的诸多特性例如:优异的光束质量,高重复频率,输...

         AVIA-半导体泵浦固体调Q激光器家族,输出波长为532nm,355nm,266nm,在532nm波段能够实现最高38W的功率输出。 它的诸多特性例如:优异的光束质量,高重复频率,输出功率高等结合在一起能够尽可能地微加工中减少热影响区域。

       上述3中特性再加上其值得信赖的可靠性以及运营成本,使得AVIA激光器能够满需各种各样的高精度加工的需求。这些应用包括:打孔,硅片切割划线,太阳能电池制造和电子封装切割。

AVIA标准产品特点

几个独特的性能确保了AVIA激光器卓越的性能和可靠性,这些性能包括:

光束指向定位PosiLock™ 是相干公司专利技术,它建立在一个闭环光束位置反馈控制系统基础上,可以确保工作表面上可重复点的定位。 这个结果是统一处理保持一致的,因此在各种操作环境下都无需使用工具调整激光器状态。在大多数情况下会在几秒钟内改变功率,重复频率或操作条件,PosiLock™通常会在几秒钟内修正因为功率,重复频率和操作环境改变而导致的光束位置改变。修正后的位置与最初的位置相差不超过10微米。

对脉冲能量实现精准控制—同样作为相干公司专有技术之一的PulseEQ™ ,能够在脉冲重复频率大范围快速改变时提供恒定的脉冲能量。这不但使得加工制造过程具备稳定的重复性,同时也降低了加工部件之间差异性。从本质上讲,PulseEQ使得AVIA系统适应加工制造过程的特点。传统的Q开关激光器,脉冲能量是泵浦能量和泵浦时间(本次脉冲和上一次脉冲之间的泵浦时间)的函数,加工制造过程必须去适应激光器的特点!

       更为重要的是PulseEQ允许使用者改变任何一个给定重复频率下的脉冲能量。市场上绝大多数与之竞争的激光器都是通过改变泵浦二极管电流控制脉冲能量,这种控制方式限制了激光器适用的范围,降低光斑模式、波束指向、脉冲稳定等性能。实际上所有关键的光束性能的参数都会受到负面的影响。PulseEQ在指定重复频率下对脉冲能量进行精准的控制,不会对激光性能、最终产品质量等关键参数产生负面的影响,明显优于其他竞争者

 

功率随时间变化保持恒定 – 随着工作时间推移,三倍频(倍频)晶体逐渐在出光过程中退化,最后导致紫外光功率下降。AVIA 使用一块大体积多点位置设计的三倍频晶体和晶体换位器来解决这个问题,通过自动移动THG晶体,输出功率恢复到出厂水平。所有的AVIA激光器都提供一个至少75个点位THG晶体,与其它同类的只具有一个点位的产品相比优势不言而喻。如下图所示,紫外线功率恢复到最初出厂时的指标。

 

现场可更换半导体泵浦模块 –对于紫外激光而言,两个关键部件THG晶体和半导体泵浦模块对性能起着至关重要的影响。我们拥有自己制造并检测的半导体泵浦模块,他们是当今市场上最为坚固耐用,使用寿命最长,可靠性最高的产品。我们的半导体泵浦模块是可以在用户现场更换的,当模块使用时间到达相应寿命时(通常大于20000小时),它们能够轻松在现场更换。

不间断地优化性能ThermaTrack™是在制造AVIA激光器时使用的另一个相干公司专利技术. 该技术是这样实现的,将一块镜片固定在电机驱动的滑轨上,镜片能够在电机的驱动下移动改变位置。这个可移动的镜片能够有效地改变激光腔结构,因此在各种操作条件下例如,改变泵浦源的电流,系统热负荷发生变化,脉冲重复频率发生改变时,ThermaTrack™都能够保证输出激光具有最高的功率和最优异的性能。卓越的性能和越来越强的生产能力,已经在各行各业积累了相当数量的最终用户。

       ThermaTrack AVIA激光器一项巨大的优势, 因为当热负荷改变时激光器的性能会有非常大的改变, ThermaTrack通过移动激光谐振腔内镜片的位置确保激光的功率和性能达到最优化。同时它使用起来非常简单,而且能够满足激光器日常操作中95%以上需求。

       ThermaTrack 同样提高了AVIA激光器热负荷改变时的性能。举输出功率为例, 日常激光器操作时遇到的各种情况,95%以上都可以通过改变激光腔内镜片的位置显著改善激光的输出功率和性能。

各种操作环境下始终如一的性能ThermEQ™同样也是相干公司的专利技术之一. ThermEQ™是在脉冲串输出时,即使重复频率改变仍然保证每个脉冲能量稳定的功能  用户可不受其它条件约束而随心所欲控制脉冲能量,获得了过去无法实现的理想加工条件。

永久准直PermAlign™, 同样也是相干公司的专利技术之一, 保证了激光头部分坚固,永久准直而且不受外界影响。 在焊接光学元件时,PermAlign能够精确地在3维空间中准直光学元件。这个处理消除了未来光路失调,而光路失调是在同类型竞争产品中出现概率最高的故障。 独特的密封技术将激光头完全密封,从而获得可靠性高的产品。

 

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