蒸镀加热方式分为：(1)电阻加热(2)感应加热(3)电子束加热(4)雷射加热(5)电弧加热

各具有的特点：

(1)电阻加热：这是一种最简单的加热方法，设备便宜、操作容易是其优点。
(2)感应加热：加热效率佳，升温快速，并可加热大容量。
(3)电子束加热：这种加热方法是把数千eV 之高能量电子，经磁场聚焦，直接撞击蒸发物加热，温度
可以高达30000C。而它的电子的来源有二：高温金属产生的热电子，另一种电子的来源为中空阴极
放电。
(4)雷射加热：激光束可经由光学聚焦在蒸镀源上，产生局部瞬间高温使其逃离。最早使用的是脉冲红
宝雷射，而后发展出紫外线准分子雷射。紫外线的优点是每一光子的能量远比红外线高，因此准分子
雷射的功率密度甚高，用以加热蒸镀的功能和电子束类似。常被用来披覆成份复杂的化合物，镀膜的
品质甚佳。
它和电子束加热或溅射的过程有基本上的差异，准分子雷射脱离的是微细的颗粒，后者则是以分子形
式脱离。
(5)电弧加热：阴极电弧沉积的优点为：

(1)蒸镀速率快，可达每秒1.0 微米
(2)基板不须加热
(3)可镀高温金属及陶瓷化合物
(4)镀膜密高且附着力佳