CVI Melles Griot公司17MAX600系列6维精密位移平台(X, Y, Z, θx, θy, θz)及17MAX300系列3维精密位移平台(X,Y,Z)集超高的调节精度及稳定性于一身。专利设计parallel-flexure技术,使17MAX系列精密位移平台拥有明显优于同类产品的可靠性。
17 MAX 300及17 MAX 600 系列精密定位平台可配合Melles Griot公司各种手动差分驱动器(17DRV002)、步进马达驱动器(17DRV001)、及压电陶瓷驱动器(17DRV120)一起使用。
17 MAX 系列精密定位平台中有几款已经装有内置,但通过增加外置的17DRV120 压电驱动器还可以进一步提高压电陶瓷驱动器的行程。下图 即为17 MAX 301维精密位移平台(含内置PZT驱动器)+17DRV120压电陶瓷驱动器+17DRV002手动差分驱动器的组合,这样既利用了差分驱动器的较长的行程,又得到了双倍PZT行程。
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