蓝宝石市场前景广阔,但目前生产大尺寸蓝宝石晶体技术主要被俄罗斯和欧美企业垄断。据统计,目前全球70%的蓝宝石衬底由俄罗斯企业提供,另外30%由美国和欧洲掌控。国内尚未形成产业化生产的蓝宝石衬底片生产厂家。
蓝宝石是制作芯片的重要原料,占LED芯片原料费的10%。2010年第三季度后,全球蓝宝石产量居前两名的公司纷纷涨价,直接影响了LED芯片及封装价格上涨。
蓝宝石是指非红色的氧化铝(Al2O3)。含有杂质的蓝宝石很早以前就被作为宝石,由于其具有多种光学、机械、电气、热以及化学特性,因此还被广泛应用于工业等多种领域,而且应用范围仍在不断扩大之中。其中,能够合成制造出蓝宝石更是意义重大。蓝宝石的主要用途包括LED和LED底板。
LED市场在2010年经历了史无前例的发展。随着市场的发展,制造蓝色和白色GaN类LED时使用的蓝宝石底板的需求也大幅增长。对底板成品的需求由每月按2英寸换算(TIE)为100万(2009年12月)增加到了200万(2010年第四季度)。
2009年第四季度,蓝宝石的加工能力满足需求还有余力。也就是说,加工蓝宝石的企业还能应对当时的需求。但是,材料的供应能力在2009年年底就逐步达到了极限。生产蓝宝石材料的企业大部分都因为2009年的金融危机和一直持续到09年的巨大物价压力而陷入苦于资金周转的困境。另外,由于新设备的导入和运转通常需要半到一年的时间,2010年产能缓慢上升,因而无法适应需求的急剧增加。由此产生了严重的材料短缺,导致价格暴涨。
蓝宝石芯材(Core)和坯料(Blank)由商品变身为“战略性材料”,大量的蓝宝石生产商时隔数年又重新掌握了定价的主导权。而且,他们可以将价格设定为能够最大限度获取利润的水平。其结果是,蓝宝石晶圆的美国国内售价超出我们的预想,上涨到了30美元,现金交易市场上的价格更是超过了30美元。很多加工蓝宝石的企业和LED厂商为确保产能已经预付了货款,目的是防止生产线停工。
生产蓝宝石晶棒的工艺主要有泡生法(KY法、凯氏长晶法)、提拉法(CZ法、柴氏拉晶法)、温度梯度法(TGT法)等,其中泡生法为主流工艺,生产的蓝宝石晶体约占70%,钻取率约30%。
蓝宝石晶体原材料为氧化铝碎晶,生产利用率大于97%,已经完全国产化。蓝宝石单晶产品即为蓝宝石坯料,可直接出售,不合格品可直接作为原材料再次加工。其他消耗材料如钨钼材料、金刚石刀具、传感器、仪表等均国产化。预计由蓝宝石生产蓝宝石晶棒的原材料、耗材均可由国内充分供应,此环节的短板主要在于长晶炉依赖进口。
国内主要的蓝宝石晶体炉厂家都是高校研究机构,包括西安理工大学、哈尔滨工业大学以及重庆第二十六研究所等。但国内目前的生产技术只能生产2英寸以下的蓝宝石晶棒,长成的晶体与氮化镓(GaN)的晶格错位较大,无法用于LED的蓝宝石衬底领域,大多用于手表表面外壳等。
蓝宝石晶棒的供应商有美国的Rubicon、Honeywell,俄罗斯的 Monocrystal、ATLAS,韩国STC 及国内合晶光电、越峰(台聚转投资)、尚志(大同转投资)及鑫晶钻(奇美、鸿海转投资)。
蓝宝石基板的供应商有美国的Rubicon、Honeywell、Crystal Systems、Saint-Gobain,俄罗斯的Monocrystal、ATLAS Sapphire,日本的京都陶瓷(Kyocera)、Namiki、Mahk,及国内兆远、兆晶(奇美转投资)、晶美、合晶及中美晶等公司。其产能如下:
|
2009 |
2010E |
2011E |
Rubicon(万毫米) |
500 |
600 |
900 |
Monocrystsal(万毫米) |
400 |
450 |
675 |
STC(万毫米) |
300 |
500 |
750 |
越峰(万毫米) |
108 |
160 |
300 |
其他(万毫米) |
400 |
450 |
900 |
合计(万毫米) |
1708 |
2160 |
3530 |
目前,GaN基衬底包括蓝宝石、SiC、GaN、Zno等,商业化的只有蓝宝石、SiC衬底,除CREE外,基本都使用蓝宝石衬底。
2010年全球主要LED蓝宝石基板生产厂商2英寸基板的厚度
厂家名称 |
2英寸基板厚度 |
美国crystal systems |
(330-430μm-25μm,330-430μm+25μm) |
俄罗斯cradley crystals |
(330-430μm-25μm,330-430μm+25μm) |
台湾兆晶科技股份有限公司 |
(330-430μm-25μm,330-430μm+25μm) |
台湾中美矽晶制品股份有限公司 |
(430μm-25μm,430μm+25μm) |
对于新增设备,安装需要3~6个月的时间。从工艺角度而言,大尺寸蓝宝石晶体生产周期需10天左右,准备和后处理需要7天左右,试件加工需要7天左右,质量检测、微观结构及光电性能需要30天左右,工艺分析、模拟需要7天左右。前后就耗去6~8个月的时间。
同时,蓝宝石晶棒除了应用于LED产业,还应用于以下几个方面:
用途 |
备注 |
航空航天大尺寸平板蓝宝石光电窗口 |
透波窗口、护板、陀螺、耐磨轴承等 |
大尺品质蓝宝石军工窗口及器件 |
美国洛克希德-马丁公司估计年增长率超过25%,预计超过3亿美元 |
其他民用窗口 |
手机窗口、光电遥控窗口、条码机耐磨窗口、投影仪保护棱镜、光电管感光棱镜,需求约2亿美元,耐磨类零部件占晶体用量35%左右 |
蓝宝石晶棒供不应求的主要原因在于MOCVD的疯狂扩张,而并不是LED终端产品需求的增加。由于蓝宝石晶棒、基板的紧缺,MOCVD机器只有不到50%的能够开工,MOCVD的过剩中短期内将催高蓝宝石晶棒、基板价格的价格,造成终端产品价格的上涨,降低磊晶厂的毛利率。从长期看,蓝宝石晶棒、基板的紧缺必将起到大浪淘沙的作用,一部分芯片质量相对不高,成本相对较高的外延片、芯片企业将倒在普通照明市场打开之前。
蓝宝石晶体的生长方法常用的有两种:
1:柴氏拉晶法(Czochralski method),简称CZ法.先将原料加热至熔点后熔化形成熔汤,再利用一单晶晶种接触到熔汤表面,在晶种与熔汤的固液界面上因温度差而形成过冷。于是熔汤开始在晶种表面凝固并生长和晶种相同晶体结构的单晶。晶种同时以极缓慢的速度往上拉升,并伴随以一定的转速旋转,随着晶种的向上拉升,熔汤逐渐凝固于晶种的液固界面上,进而形成一轴对称的单晶晶锭.
2:凯氏长晶法(Kyropoulos method),简称KY法,大陆称之为泡生法.其原理与柴氏拉晶法(Czochralskimethod)类似,先将原料加热至熔点后熔化形成熔汤,再以单晶之晶种(SeedCrystal,又称籽晶棒)接触到熔汤表面,在晶种与熔汤的固液界面上开始生长和晶种相同晶体结构的单晶,晶种以极缓慢的速度往上拉升,但在晶种往上拉晶一段时间以形成晶颈,待熔汤与晶种界面的凝固速率稳定后,晶种便不再拉升,也没有作旋转,仅以控制冷却速率方式来使单晶从上方逐渐往下凝固,最后凝固成一整个单晶晶碇.
晶体提拉法
晶体提拉法(crystal pulling method) 由J .Czochral ski 于1918 年发明,故又称“丘克拉斯基法”,简称CZ 提拉法,是利用籽晶从熔体中提拉生长出晶体的方法,能在短期内生长出高质量的单晶。这是从熔体中生长晶体最常用的方法之一。其优点是: (1) 在生长的过程中,可方便地观察晶体生长的状况; (2) 晶体在熔体表面处生长,不与坩埚接触,能显著地减小晶体的应力,防止坩埚壁的寄生成核; (3) 可以方便地运用定向籽晶和“缩颈”工艺,使“缩颈”后籽晶的位错大大减少,降低扩肩后生长晶体的位错密度,从而提高晶体的完整性 。其主要缺点是晶体较小,直径最多达约51~76 mm。.
泡生法
泡生法( Kyropoulos method) 于1926 年由Kyropoul s 发明,经过科研工作者几十年的不断改造和完善,目前是解决晶体提拉法不能生产大晶体的好方法之一。其晶体生长的原理和技术特点是:将晶体原料放入耐高温的坩埚中加热熔化,调整炉内温度场,使熔体上部处于稍高于熔点的状态;使籽晶杆上的籽晶接触熔融液面,待其表面稍熔后,降低表面温度至熔点,提拉并转动籽晶杆,使熔体顶部处于过冷状态而结晶于籽晶上,在不断提拉的过程中,生长出圆柱状晶体。
泡生法与提拉法生长晶体在技术上的区别是: (1) 晶体直径 在扩肩时前者的晶体直径较大,可生长出100 mm 以上直径的蓝宝石晶体,而后者则有些难度; (2) 晶体方向 前者对生长大尺寸、有方向性的蓝宝石晶体拥有更大的优势;(3) 晶体质量 泡生法生长系统拥有适合蓝宝石晶体生长的最佳温度梯度。在生长的过程中或结束时,晶体不与坩埚接触,大大减少了其应力,可获得高质量的大晶体,其缺陷密度远低于提拉法生长的晶体,且两者生长晶体的形状也不同。
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