相干公司最新推出IndyStar 2kHz准分子激光器，已完全通过Semi S2认证，采用了几种新的输出稳定化技术以促进工艺提高，使其成为半导体制造、测试、检验以及微加工等应用的理想选择。该激光器具备193nm (ArF)、8W稳定输出，以及248nm (KrF)、12W稳定输出的两个型号。

    IndyStar 2kHz采用了一个先进的电子平台以实现POWERLOK和TIMELOK这两种新的稳定化输出技术。POWERLOK技术确保每个脉冲的能量一致性，特别适合于需要使用特定脉冲串的应用。TIMELOK提供了非凡的脉冲触发延时的稳定性，因而适用于需要与其他设备严格同步的应用。由于采用了经过业界验证的ALMETA （全金属陶瓷) 腔技术，保证了IndyStar系列激光器的超低运营成本以及长寿命和高可靠性的特点。

    IndyStar 2 kHz在诸如光掩膜检查以及光刻镜片测试等应用方面显示了更快、更好的效果。也可以实现在包括精确材料去除和标记等高速加工方面的应用。