以准分子为工作物质的一类气体激光器件。常用相对论电子束(能量大于200千电子伏特)或横向快速脉冲放电来实现激励。当受激态准分子的不稳定分子键断裂而离解成基态原子时,受激态的能量以激光辐射的形式放出。
第一台准分子激光器于1970年诞生,它利用强电子束激励液态氙,获得氙准分子的激射作用,激光波长为1720埃。随后,气相氙分子以及其它稀有气体准分子,稀有气体氧化物准分子(氧化氪、氧化氙、氧化氩等),金属蒸气-稀有气体准分子(氙化纳等);稀有气体单卤化物准分子(氟化氙、氟化氩、氟化氪、氯化氙、溴化氙、碘化氙、氯化氪等),金属卤化物准分子(氯化汞、溴化汞等)和金属准分子(钠准分子等)陆续诞生。准分子激光物质具有低能态的排斥性,可以把它有效地抽空,故无低态吸收与能量亏损,粒子数反转很容易,增益大,转换效率高,重复率高,辐射波长短,主要在紫外和真空紫外(少数延伸至可见光)区域振荡,调谐范围较宽。它在分离同位素,紫外光化学,激光光谱学,快速摄影,高分辨率全息术,激光武器,物质结构研究,光通信,遥感,集成光学,非线性光学,农业,医学,生物学以及泵浦可调谐染料激光器等方面已获得比较广泛的应用,而且可望发展成为用于核聚变的激光器件。
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