高纯气体(High Purity Gases)气体工业名词，通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氢，氮，氦，氩而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99.199%即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99199%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮，氢，氩，氦可作为运载气，保护气和配制混合气的底气。
高纯气体根据分子结构的不同可以分为有机高纯气体，和无机高纯气体。
有机高纯气体
1、烷烃类：
甲烷（CH4）、乙烷（C2H6）、丙烷（C3H8）、环丙烷（cyc-C3H6）、正丁烷（n-C4H10）、异丁烷（i-C4H10）、正戊烷（n-C5H12)、新戊烷（neo-C5H12）、氯甲烷（CH3Cl）、氯乙烷（C2H5Cl）、三氟甲烷（CHF3）、环氧乙烷（C2H4O）、砷烷（AsH3）、磷烷（PH3）、硼烷（B2H6）、硅烷（SiH4）等；
2、烯烃类：
乙烯（C2H4）、丙烯（C3H6）、丙二烯（C3H4==）、1-丁烯（1-C4H8）、异丁烯（i-C4H8)、反-2-丁烯（t-2-C4H8）、顺-2-丁烯（c-2-C4H8）、1.2-丁二烯（1.2-C4H6）、1.3-丁二烯（1.3-C4H6）、氯乙烯（C2H3Cl）等；
3、炔烃类：
乙炔（C2H2）、1-丁炔（1-C4H6）、2-丁炔（2-C4H6）、甲基乙炔（C3H4）、乙烯基乙炔（C4H4=≡）等；
4、其他：
二甲醚（C2H6O）、甲硫醇（CH4S）、熏蒸剂（C2H4O-CO2)等
无机高纯气体
1、空气（Air）、氢气（H2）、氧气（O2）、氮气（N2）、氩气（Ar）、氦气（He）、氖气（Ne）、氪气（Kr）、氙气（Xe）等；
2、氨气（NH3）、氯气（Cl2）、二氧化硫（SO2）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）、二氧化氮（NO2）、氧化亚氮（N2O）、氧硫化碳（COS）、氯化氢（HCl）、溴化氢（HBr）、硫化氢（H2S）等；
3、三氟化硼（BF3）、三氯化硼（BCl3）、四氟化碳（CF4）、四氟化硅（SiF4）、 四氯化硅（SiCl4）、六氟化硫（SF6）等
高纯气体产品的分类
序号 气体名称 纯度/% 主要用途 氮气N2 1#p#分页标题#e# 纯氩Ar ≥99.99 冶炼、切割、焊接、电子工业 2 高纯氩Ar ≥99.999 电子管、特种灯泡、真空技术 3 4 高纯氮N2 ≥99.999 科研、电子、机械行业、色谱仪、载气 5 纯氢H2 ≥99.99 金属冶炼、焊接、国防工业 6#p#分页标题#e# 高纯氢H2 ≥99.999 电子工业、石油化工、色谱仪、载气 8 高纯氦气He ≥99.999 色谱仪载气、电子工业等 9 工业氧O2 ≥99 钢材焊接、火焰加工 10 高纯氧O2 ≥99.95 标准气体的制备、集成电路、科学研究 11 工业氢H2 ≥99 石油、油脂加氢、人造宝石、石英玻璃制造、金属切割 12#p#分页标题#e# 纯氙Xe ≥99.99 电光源工业、医疗、电真空、激光行业 13 高纯氙Xe ≥99.999 14 纯氪Kr ≥99.99 电光源工业、电真空工业 15 高纯氪Kr ≥99.999 16 纯氖Ne ≥99.99 电光源工业 17 液体二氧化碳CO2 ≥99.9 化工、焊接、制冷、化纤、农业、食品添加剂 18#p#分页标题#e# 高纯二氧化碳CO2 ≥99.999 标准气体的制备 20 硫化氢H2S ≥99.9 标准气制备、等离子干刻 22 甲烷CH4 ≥99.9 低温液体洗涤剂标准气及混合气制备 23 乙炔C2H2 ≥99 金属焊接、切割、加热燃料、有机产品原料 24#p#分页标题#e# 丙烷C3H8 ≥99.9 石油化工、医学检验、标准气体的制备 25 乙烯C2H4 ≥99.9 乙烯、丙烯成分分析标准气体的制备 26 丙烯C3H6 ≥99.9 化工合成、焊接、燃烧等 27 乙硼烷B2H6 ≥99.995 半导体器件制造中的重要P型掺杂源 28 磷烷PH3 ≥99.999 半导体器件制造中的重要N型掺杂源 29#p#分页标题#e# 砷烷AsH3 ≥99.999 N型掺杂剂 30 硅烷SiH4 ≥99.999 用于制备高纯多晶硅
目前, 国内市场的气体产品按其用途可进行如下分类:
1、一般工业用气。包括工业氢气、工业氮气等。
2 、医疗用气。包括医用氧气、麻醉气等。
3、食品工业用气。如液体二氧化碳。
4、 民用燃气。如天然气, 液化石油气等。
5、电子工业用气。如硅烷、磷烷等。
6、仪器仪表用气。如标准气、色谱载气等。
7、其它特殊用途用气。
一般情况下, 1～4 类气体产品的市场需求量很大, 而纯度要求不是很高, 主体成分含量通常在9915% 以下。
5～ 7 类气体即所谓的特种气体, 其特点是品种繁多, 市场需求量较小, 纯度要求高, 对其所含的杂质的种类和数量有着严格
的限定。
不同类别的同一种气体, 质量要求差异很大。
≥99.99
化工、冶金、电子工业
纯氦He
≥99.99
电子工业、潜水呼吸
一氧化碳CO
≥99.9
金属冶炼、渗碳、标准气及混合气制备
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