高纯气体必须满足2 个条件:
1、主体成分含量必须大于某一定值。
2、各杂质组分含量必须小于某一定值。
    电子工业用气、仪器仪表校准用的零点气、标准气配制用气、色谱载气等均需满足以上要求, 可列为高纯气体。
    理论上, 高纯气体的纯度= 主体成分含量= 1-∑ 杂质含量。事实上, 用实验方法直接准确测定高纯气体中主体成分含量是非常困难的。既使象二氧化碳这类产品, 可以通过规定的方法, 直接测定得到“纯度值”, 但该值也包含有水分、酸性气体及其它与强碱作用的成分。所以说, 该“纯度”也并非理论意义上的气体纯度。
    而另外一种通过测定气体中所含有的所有杂质成分, 计算求得气体纯度(理论纯度) 的方法, 同样难以实现。
    那么, 目前市场上高纯气体产品的“纯度”含义又是什么呢? 笔者认为, 所谓高纯气体纯度是通过规定方法直接测得或扣除规定杂质计算求得的浓度值。这种规定是生产者和用户依据生产过程和使用目的共同协商的结果。
    评价高纯气体的质量, 除进行“纯度”指标评价外, 还需依据标准对规定杂质进行逐一核对。任何一项超出规定的要求, 都不能称之为合格品。