在准分子激光器全球的医疗、半导体、光纤、平板显示、材料研究等高端行业得到广泛的应用，但作为专业的准分子激光气体的重要厂商，我们同时也发现在准分子激光器的使用上，还存在着一些隐忧，笔者想通过这篇文章，以引起相关操作人员的重视。

准分子激光气体的主要成分：

氟化氩（ArF) 193 nm ：F₂、Ar、He、Ne；

氟化氪（KrF) 248 nm ：F₂、Ar、He、Ne；

氯化氙（XeCl）308 nm ：HCl、H₂、Xe、Ne

氟化氙（XeF） 351 nm：F#p#分页标题#e#₂、Xe、He、Ne

显而易见，准分子激光气体成份中，Ar、He、Ne、Kr、Xe都是无色、无味、无毒、不可燃的惰性稀有气体，除非大量释放到密闭空间会引起窒息外，对人体的危害是有限的，排除惰性稀有气体的危害最主要的做法还是通风，增强室内空气的对流。

除了稀有气体之外，准分子激光气中的F₂是我们采取防范措施的重中之重。很多情况下，准分子激光气体都是以预混的形式进行供应，这些预混气的F₂浓度都在1%以下，但足以对人体健康构成威胁，尤其是一些工业和科研应用的准分子激光气，使用的是5%F₂+95%He，这类型的气体对人体的危害更为严重。

氟气，化学式F₂，是一种淡黄色、极具腐蚀性的双原子分子气体，密度（标准状态下）：

1.554kg/m³ 比空气大。有特殊气味，吸入感觉干燥。

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　理化性质

　 化学分子式： F₂

分子量： 37.9968

　　熔点(101.325kPa)： -219.62℃

　　沸点(101.325kPa)： -188.1℃

　　液体密度(-#p#分页标题#e#188.1℃，S.P.)： 1507kg/m³

　　气体密度(25℃，101.325kPa)： 1.554kg/m³

　　相对密度(气体，空气=1，25℃，101.325kPa)：1.312

　　比容(21.1℃#p#分页标题#e#，101.325kPa)： 0.6367m³/kg

　　临界温度： -128.8℃

　　临界压力： 5215kPa

　　临界密度： 574 kg/m³

　　熔化热(-219.67℃，0.252kPa)： 13.44 KJ/kg

　　气化热(-188.2℃#p#分页标题#e#，101.325kPa)： 175.51 KJ/Kg

　　比热容(气体，21.1℃，101.325kPa)： Cp=827.67J/(mol.K)

　　 Cv=609.65J/(mol.K)

　比热比(气体，21.1℃，101.325kPa)：Cp/Cv=1.358

　　蒸气压(53.56K)： 0.223kPa

　　 (77.17K)： 37.383kPa

　　 (89.40K)：#p#分页标题#e# 162.638kPa

　　粘度(气体，0℃，101.325kPa)： 0.02180mPa.s

　　(液体，-192.2℃)： 0.275mPa.S

　　表面张力(-193.2℃)： 14.81mN/m

　　导热系数(气体，0℃，101.325kPa)：#p#分页标题#e#0.024769W/(mol.K)

　　(液体，-188.1℃)： 0.159W/(mol.K)

　　折射率(气体，25℃，101.325kPa)： 1.000187

　　(液体，-188.1℃)： 1.2

　　毒性级别： 4

　　易燃性级别： 0

　　易爆性级别：#p#分页标题#e# 3

　　火灾危险度： 极大

氟是电负度最强的元素，也是很强的氧化剂。在常温下，氟几乎能和所有的元素化合，并产生大量的热能，在所有元素中，氟是最活泼的。在－

188℃以下，凝成黄色的液体，在-223℃变成黄色结晶体。由于氟的强化学特性，单质氟在自然界基本不存在，而主要以化合物的形式存在，其中最重要的化合物是氟化钙（CaF₂），俗称萤石或氟石。由于原子能工业的发展，提炼核燃料必须使用单质氟，才使得氟气发展得到大规模的工业生产。氟气在现代工业中，特别是核工业、电气和化工行业等部门有着十分重要的用途。

毒性

　　人吸入TCLo：25ppm，5分钟，对眼有刺激性

　　最高容许浓度：0.1 ppm (0.2mg/m³)

　　氟是剧毒性气体，能刺激眼、皮肤、呼吸道粘膜。由于它立即与水反应生成氟化氢#p#分页标题#e#HF，所以在大多数情况下显出与氟化氢同样的毒性。轻微吸入会影响肺、鼻、喉咙等呼吸道黏膜，导致咳嗽及呼吸困难，过度吸入有可能产生组织破坏或肺水肿。

　　当氟浓度为5～10ppm时，对眼、鼻、咽喉等粘膜开始有刺激作用，作用时间长时也可引起肺水肿。与皮肤接触可引起毛发的燃烧，接触部位凝固性坏死、上皮组织碳化等。慢性接触可引起骨硬化症和韧带钙化。氟物质会与水或空气中之湿气反应成氟化氢或氢氟酸，如果超过20%氟化氢或氢氟酸污染致人体可能导致血钙过少。吸入氟的患者应立即转移至无污染的安全地方安置休息，并保持温暖舒适。眼睛或皮肤受刺激时迅速用水冲洗之后就医诊治。氟物质亦会与水或空气中之湿气反应成氟化氢或氢氟酸。水中生物部分，如混合气体大量的在河边或水中外泄，会导致鱼类或水中生物死亡。

安全防护

　　工作场所要通风保持空气新鲜干燥。要用特种钢瓶贮装。钢瓶存放时必须与其它物料隔离，特别是与能和氟反应的物料隔绝，要远离易起火地点。

　　着火时消防人员须在防爆掩蔽处操作，切不可将水直接喷射漏气处，否则会助长火势。灭火可用二氧化碳、干粉、砂土、废气可用水吸收。

　　氟气是一种毒性极高的强腐蚀性气体，在湿空气中易形成氟化氢或二氟化氢。氟的腐蚀性突出表 现为强烈的酸性刺激性，其性质同氟化氢相似。与水、水蒸气反应，产生有毒腐蚀性烟气，并放出热。

　　氟气对皮肤的灼伤速度比氢氟酸快许多，眼睛是氟中毒的敏感部位，它对眼睛的刺激程度也大大超过 氢氟酸。呼吸到低含量的氟气不会产生明显的生理病变，但经过呼吸系统进入人体的骨组织内，引起化 学反应导致骨质松软。氟气属有毒压缩气体，宜储存于阴凉、通风仓内，，并应远离火种、热源。氟气应与易燃或可燃物、金属粉末等分开存放。#p#分页标题#e#

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